Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeWillkommen im Downloadbereich des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS. Hier können Sie neben den Datenblättern zu den Produkten und Anwendungen des Fraunhofer ENAS auch Informationsbroschüren zum Institut sowie den Jahresbericht als pdf-Version herunterladen.
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Broschüren
Laden Sie hier die aktuellen Instituts-, Abteilungs- und Themenbroschüren herunter.
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Datenblätter
Hier finden Sie Datenblätter aus den Bereichen Sensoren/Aktoren und Systeme, Technologie und Test des Fraunhofer ENAS als pdf-Version zum Download. Alle Angaben in den Datenblättern sind vorläufig und können sich ändern. Bei den beschriebenen Systemen, Materialien und Prozessen handelt es sich nicht um Produkte, sondern um Prototypen, die auf Anforderung der Kunden weiter entwickelt werden können.
Systeme
| Miniaturized NIR/MIR spectrometer (Englisch) | Download | |
| Miniaturized NIR/MIR spectrometer (Japanisch) | Download | |
| Miniaturisierte durchstimmbare Bandpassfilter für den infraroten Spektralbereich | Download | |
| Miniaturized turnable Band-Pass fllters for the infrared spectral range (Japanisch) | Download | |
| Nanostructured refelctors for tunable band-pass filters (Englisch) | Download | |
| Nanostructured refelctors for tunable band-pass filters (Japanese) | Download | |
| Integration von Sensoren mit autarker Energieversorung in einem Simmering | Download | |
| Grease sensor for condition monitoring of rolling bearings (Englisch) | Download | |
| Grease Sensor for Condition Monitoring of Rolling Bearings (Japanisch) | Download | |
| ASTROSE - Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen | Download | |
| Fully-integrated microfluidic cartridges for in-vitro diagnostics (Englisch) | Download |
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| MRT-sicheres Mikroendoskop-System mit integrierter Ultraschall-Funktion | Download | |
| Vertically integrated array-type Mirau-based OCT system (Englisch) | Download | |
| Vertically integrated array-type Mirau-based OCT system (Japanisch) | Download | |
| MEMS loudspeaker utilizing metallic glass membrane and deposited magnet (Englisch) | Download | |
| Wake-up generator MEMS aluminum nitride based piezoelectric ultra-low power applications (Englisch) | Download |
Komponenten
| Inertialsensoren | |
| High precision +/- 10° inclination sensor (Englisch) | Download |
| Acceleration sensor element AC20kHz (Englisch) | Download |
| 2-axis 5G-accelerometer (Englisch) | Download |
| 2-axis 5G-accelerometer (Japanisch) | Download |
| 2-axis acceleration sensor for medical applications (Englisch) | Download |
| Sensoren | |
| Monolithisch integrierter 2D-GMR-Magnetfeldsensor | Download |
| Monolithic integrated 2D magnetic field sensors (Japanisch) | Download |
| Multifunctional MEMS with ultrasonic transducer and temperature sensor (Englisch) | Download |
| Scaling up integration of carbon nanotubes into MEMS (Englisch) | Download |
| High-sensitive humidity sensors based on nanocomposites (Englisch) | Download |
| Elektro-optische Wandler auf Basis von Quantum Dots | Download |
| Aktoren | |
| Low actuation voltage RF MEMS switch for DC to 30 (70) GHz (Englisch) |
Download |
| Actuators for active flow control | Download |
| Energieversorgung | |
| Printed thin film battery (Englisch) | Download |
| Printed thin film battery (Japanisch) | Download |
| Smart universal power antennas for wireless energy transmission (Englisch) | Download |
| Kommunikation | |
| Printed antennas (Englisch) | Download |
| Printed antennas (Japanisch) | Download |
Technologien
| Nanoimprint Lithographie | Download |
| Mikroprägen für Mikro- und Nanostrukturierte Oberflächen | Download |
| Atomic Layer Deposition and targeted application areas (Englisch) | Download |
| Atomic Layer Deposition and targeted application areas (Japanisch) | Download |
| Integration of Carbon Nanotubes and Applications (Englisch) | Download |
| Integration of Carbon Nanotubes and Applications (Japanisch) | Download |
| Functional CNT films – absorption layers for IR applications (Englisch) | Download |
| Electrochemische Abscheidung aus ionischen Flüssigkeiten | Download |
| Electrochemical Deposition (Englisch) | Download |
| Aluminum nitride smart integration of thin film piezoelectrics in MEMS/NEMS (Englisch) | Download |
| Thin film encapsulation using 3d conformal Parylene® deposition (Englisch) | Download |
| Thin film encapsulation using 3d conformal Parylene® deposition (Japanisch) | Download |
| Ultrashort pulse laser micromachining (Englisch) | Download |
Test
Simulation
Systemintegration & Packaging
| Bonding | |
| Direktes Bonden durch chemisch-reaktive Plasmaentladungen | Download |
| Direct Bonding using chemical reactive plasma discharge (Japanisch) | Download |
| Reaktives Bonden mit Multi-Nanoschicht-Systemen | Download |
| Reactive bonding by using multi nano layer systems | Download |
| Solid-liquid Interdiffusion Bonding (SLID) auf Waferebene | Download |
| Solid-liquid interdiffusion bonding (SLID) at wafer level (Japanisch) | Download |
| Thermocompressions wafer bonding with thin metal layers (Englisch) | Download |
| Thermocompressions wafer bonding with thin metal layers (Japanisch) | Download |
| Semi-finished bonded substrates (Englisch) | Download |
| 3D Integration | |
| Interposer-Technologien und Flexible Substrate | Download |
| Silicon Interposer for 3D sensor systems (Englisch) | Download |
| Silicon Interposer for 3D sensor systems (Japanisch) | Download |
| 3D Integration: TSV processes and wafer thinning (Englisch) | Download |
| 3D Integration: TSV processes and wafer thinning (Japanisch) | Download |
| weitere Technologien | |
| Siebdruck für MEMS-Packaging und Waferbonden | Download |
| Aerosol Jet Printing (Englisch) | Download |
| Aerosol Jet Printing (Japanisch) | Download |
Jahresberichte
Mit unserem Jahresbericht informieren wir Kunden, Journalisten und alle Interessenten über aktuelle Themen und Trends in der aktuellen Forschung und Entwicklung unseres Instituts.