Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeWillkommen im Downloadbereich des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS. Hier können Sie neben den Datenblättern zu den Produkten und Anwendungen des Fraunhofer ENAS auch Informationsbroschüren zum Institut sowie den Jahresbericht als pdf-Version herunterladen.
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Broschüren
Laden Sie hier die aktuellen Instituts-, Abteilungs- und Themenbroschüren herunter.
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Datenblätter
Hier finden Sie Datenblätter aus den Bereichen Sensoren/Aktoren und Systeme, Technologie und Test des Fraunhofer ENAS als pdf-Version zum Download. Alle Angaben in den Datenblättern sind vorläufig und können sich ändern. Bei den beschriebenen Systemen, Materialien und Prozessen handelt es sich nicht um Produkte, sondern um Prototypen, die auf Anforderung der Kunden weiter entwickelt werden können.
Komponenten
| Inertialsensoren | |
| High Precision +/- 10° Inclination Sensor (Englisch) | Download |
| Sensoren | |
| High-sensitive humidity sensors based on nanocomposites (Englisch) | Download |
| Energieversorgung | |
| Printed Thin Film Battery (Englisch) | Download |
| Printed Thin Film Battery (Japanisch) | Download |
| Smart universal power antennas for wireless energy transmission (Englisch) | Download |
| Kommunikation | |
| Printed Antennas (Englisch) | Download |
Systeme
| Miniaturized NIR/MIR Spectrometer (Englisch) | Download |
| Miniaturized NIR/MIR Spectrometer (Japanisch) | Download |
| Miniaturisierte durchstimmbare Bandpassfilter für den infraroten Spektralbereich | Download |
| Integration von Sensoren mit autarker Energieversorung in einem Simmering | Download |
| Grease Sensor for Condition Monitoring of Rolling Bearings (Englisch) | Download |
| ASTROSE - Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen | Download |
| Fully-integrated microfluidic cartridges for in-vitro diagnostics (Englisch) | Download |
Simulation
| Process and equipment simulation of chemical vapor deposition (Englisch) | Download |
| Device simulations for semiconductor industry and photovoltaics (Englisch) | Download |
| Simulation of sputter deposition (Englisch) | Download |
Systemintegration & Packaging
| Bonding | |
| Solid-liquid Interdiffusion Bonding (SLID) auf Waferebene | Download |
| Direktes Bonden durch chemisch-reaktive Plasmaentladungen | Download |
| Reaktives Bonden mit Multi-Nanoschicht-Systemen | Download |
| Thermocompressions wafer bonding with thin metal layers (Englisch) | Download |
| Reactive Bonding by using multi nano layer systems (Englisch) | Download |
| Semi-finished bonded substrates (Englisch) | Download |
| Semi-finished bonded substrates consisting of photosensitive Foturan and Borofloat 33 (Englisch) | Download |
| Semi-finished bonden substrates consisting of piezo- and pyroelectric lithium tantalate and glass (Englisch) | Download |
| Semi-finished bonded substrates: Silicon on glass (SOG) (Englisch) | Download |
| Semi-finished bonded substrates consisting of lithium tantalate and Silicon (Englisch) | Download |
| Semi-finished bonded substrates: SOI-Wafer (Silicon on insulator) (Englisch) | Download |
| 3D Integration | |
| Silicon Interposer for 3D sensor systems (Englisch) | Download |
| 3D Integration: TSV processes and wafer thinning (Englisch) | Download |
| weitere Technologien | |
| Siebdruck für MEMS-Packaging und Waferbonden | |
| Aerosol Jet Printing | Download |
| Screen Printing for MEMS Packaging and Wafer bonding (Englisch) | Download |
| Aerosol Jet Printing (Englisch) | Download |
| Characterization | |
| Hermetizitätsbewertung gebondeter Mikrochips | Download |
| Ultraschallmikroskopie | Download |
| Festigkeitsanalysen an Bondverbindungen | Download |
Technologien
| Nanoimprint Lithographie | Download |
| Atomic Layer Deposition and targeted application areas (Englisch) | Download |
| Integration of Carbon Nanotubes and Applications (Englisch) | Download |
| Electrochemische Abscheidung aus ionischen Flüssigkeiten | Download |
Testverfahren
| MEMS Parameter Identifikation (Englisch) |
Download |
Jahresberichte
Mit unserem Jahresbericht informieren wir Kunden, Journalisten und alle Interessenten über aktuelle Themen und Trends in der aktuellen Forschung und Entwicklung unseres Instituts.