Downloads

Willkommen im Downloadbereich des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS. Hier können Sie neben den Datenblättern zu den Produkten und Anwendungen des Fraunhofer ENAS auch Informationsbroschüren zum Institut sowie den Jahresbericht als pdf-Version herunterladen.

Hier finden Sie Datenblätter aus den Bereichen Sensoren/Aktoren und Systeme, Technologie und Test des Fraunhofer ENAS als pdf-Version zum Download. Alle Angaben in den Datenblättern sind vorläufig und können sich ändern. Bei den beschriebenen Systemen, Materialien und Prozessen handelt es sich nicht um Produkte, sondern um Prototypen, die auf Anforderung der Kunden weiter entwickelt werden können.

Systeme

Miniaturized NIR/MIR spectrometer (Englisch) Download
Miniaturized NIR/MIR spectrometer (Japanisch) Download
Miniaturisierte durchstimmbare Bandpassfilter für den infraroten Spektralbereich Download
Miniaturized turnable Band-Pass fllters for the infrared spectral range (Japanisch) Download
Nanostructured refelctors for tunable band-pass filters (Englisch) Download
Nanostructured refelctors for tunable band-pass filters (Japanese) Download
Integration von Sensoren mit autarker Energieversorung in einem Simmering Download
Grease sensor for condition monitoring of rolling bearings (Englisch) Download
Grease Sensor for Condition Monitoring of Rolling Bearings (Japanisch) Download  
ASTROSE - Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen Download
Fully-integrated microfluidic cartridges for in-vitro diagnostics (Englisch) Download
MRT-sicheres Mikroendoskop-System mit integrierter Ultraschall-Funktion Download
Vertically integrated array-type Mirau-based OCT system (Englisch) Download
Vertically integrated array-type Mirau-based OCT system (Japanisch) Download
MEMS loudspeaker utilizing metallic glass membrane and deposited magnet (Englisch) Download
Wake-up generator MEMS aluminum nitride based piezoelectric ultra-low power applications (Englisch) Download

Komponenten

Inertialsensoren  
High precision +/- 10° inclination sensor (Englisch) Download
Acceleration sensor element AC20kHz (Englisch) Download
2-axis 5G-accelerometer (Englisch) Download
2-axis 5G-accelerometer (Japanisch) Download
2-axis acceleration sensor for medical applications (Englisch) Download
Sensoren  
Monolithisch integrierter 2D-GMR-Magnetfeldsensor Download
Monolithic integrated 2D magnetic field sensors (Japanisch) Download
Multifunctional MEMS with ultrasonic transducer and temperature sensor (Englisch) Download
Scaling up integration of carbon nanotubes into MEMS (Englisch) Download
High-sensitive humidity sensors based on nanocomposites (Englisch) Download
Elektro-optische Wandler auf Basis von Quantum Dots Download
Aktoren  
Low actuation voltage RF MEMS switch for DC to 30 (70) GHz (Englisch)
Download
Actuators for active flow control Download
Energieversorgung  
Printed thin film battery (Englisch) Download
Printed thin film battery (Japanisch) Download
Smart universal power antennas for wireless energy transmission (Englisch) Download
Kommunikation  
Printed antennas (Englisch) Download
Printed antennas (Japanisch) Download

 

Technologien

Nanoimprint Lithographie Download
Mikroprägen für Mikro- und Nanostrukturierte Oberflächen Download
Atomic Layer Deposition and targeted application areas (Englisch) Download
Atomic Layer Deposition and targeted application areas (Japanisch) Download
Integration of Carbon Nanotubes and Applications (Englisch) Download
Integration of Carbon Nanotubes and Applications (Japanisch) Download
Functional CNT films – absorption layers for  IR applications (Englisch) Download
Electrochemische Abscheidung aus ionischen Flüssigkeiten Download
Electrochemical Deposition (Englisch) Download
Aluminum nitride smart integration of thin film piezoelectrics in MEMS/NEMS (Englisch) Download
Thin film encapsulation using 3d conformal Parylene® deposition (Englisch) Download
Thin film encapsulation using 3d conformal Parylene® deposition (Japanisch) Download
Ultrashort pulse laser micromachining (Englisch) Download

 

Test

MEMS Active Probe zur Wafer und Chip-Level Charakterisierung von MEMS Download
MEMS Parameter Identifikation (Englisch)
Download
Hermetizitätsbewertung gebondeter Mikrochips Download
Ultraschallmikroskopie Download
Festigkeitsanalysen an Bondverbindungen Download

Simulation

Multi Scale Simulation of Atomic Layer Deposition (Englisch)
Download
Process and equipment simulation of chemical vapor deposition (Englisch) Download
Device simulations for semiconductor industry and photovoltaics (Englisch) Download

 

Systemintegration & Packaging

Bonding  
Direktes Bonden durch chemisch-reaktive Plasmaentladungen Download
Direct Bonding using chemical reactive plasma discharge (Japanisch) Download
Reaktives Bonden mit Multi-Nanoschicht-Systemen Download
Reactive bonding by using multi nano layer systems Download
Solid-liquid Interdiffusion Bonding (SLID) auf Waferebene Download
Solid-liquid interdiffusion bonding (SLID) at wafer level (Japanisch) Download
Thermocompressions wafer bonding with thin metal layers (Englisch) Download
Thermocompressions wafer bonding with thin metal layers (Japanisch) Download
Semi-finished bonded substrates (Englisch) Download
3D Integration
Interposer-Technologien und Flexible Substrate Download
Silicon Interposer for 3D sensor systems (Englisch) Download
Silicon Interposer for 3D sensor systems (Japanisch) Download
3D Integration: TSV processes and wafer thinning (Englisch) Download
3D Integration: TSV processes and wafer thinning (Japanisch) Download
weitere Technologien  
Siebdruck für MEMS-Packaging und Waferbonden Download
Aerosol Jet Printing (Englisch) Download
Aerosol Jet Printing (Japanisch) Download