Messen und Ausstellungen

Auf dem MST-Kongress 2021 präsentieren unsere Wissenschaftler:innen in Fachvorträgen und Postern neueste Projektergebnisse.

Begleitende zum Vortragsprogramm stellt Fraunhofer ENAS auf dem Gemeinschaftsstand der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) Demonstratoren zu den aktuellen Themen vor. Wir zeigen einen Northfinder, der auf einem hochpräzisen MEMS-Gyroskope basiert. Aber auch CNT-Sensoren für ASIC-Condition-Monitoring, Beispiele zum Waferbonden auf Basis von reaktiven Multischichtsystemen und XMR-Abstandsensoren finden Sie am Ausstellungsstand.

Besuchen Sie unsere Vorträge und Poster auf dem MST-Kongress:

Dienstag, 9. November 2021, 11:00 - 11:20 Uhr | Session B1 Mobilität

Bestimmung der Himmelsrichtung mittels Präzisions-MEMS-Gyroskop in einem kompakten Gerät

Daniel Bülz (Fraunhofer ENAS, Germany); Sebastian Weidlich (Technische Universität Chemnitz, Germany); Stefan Konietzka (EDC Electronic Design Chemnitz GbmH, Germany); Tim Motl (EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, Germany); Roman Forke (Fraunhofer ENAS, Germany); Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany); Harald Kuhn (Fraunhofer ENAS, Germany)

Mittwoch, 10. November 2021, 16:35 - 16:55 Uhr | Session A6 Aufbau- und Verbindungstechnik

CuO/Al reactive multilayers as internal heat source for wafer bonding

Silvia Braun, Klaus Vogel and Frank Roscher (Fraunhofer ENAS, Germany); Sven Zimmermann (Technische Universität Chemnitz, Germany); Maik Wiemer and Harald Kuhn (Fraunhofer ENAS, Germany)

Dienstag, 9. November 2021, 15:10 - 16:15 Uhr | Postersession 1

P1.3C: Heterosystem-integrated carbon nanotube sensors for on-ASIC condition monitoring

Simon Böttger (Chemnitz University of Technology, Germany); Franz Dietz (Robert Bosch GmbH, Germany); Eric Pankenin (Chemnitz University of Technology, Germany); Nipun Dahra (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, Germany); Eberhard Kaulfersch (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems, Germany); Sascha Hermann (Chemnitz University of Technology, Germany)

Mittwoch, 10. November 2021, 14:35 - 15:35 Uhr | Postersession 2

P2.22C: XMR basierte Abstandssensoren in hochintegrierten Elektromotoraggregaten

Patrick Matthes and Marco Meinig (Fraunhofer ENAS, Germany)

Dienstag, 9. November 2021, 10:40 - 11:00 Uhr | Session C1 Integrierte, hybride & mikrohybride Systeme

Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO₂ in Trenchzellen

Doris Mutschall, Alena Kaiser, Robin Lehmkau, Martin Ebermann, Norbert Neumann (InfraTec GmbH); Clemens Mart, Sophia Eßlinger, Wenke Weinreich (Fraunhofer IPMS); Karla Hiller, Jan Seiler (Technische Universität Chemnitz); Toni Großmann (Fraunhofer ENAS); Wolfgang Günther (AMAC); Markus Neuber (Fraunhofer IPMS); Alexey Shaporin (Fraunhofer ENAS)

Dienstag, 9. November 2021, 11:40 - 12:00 Uhr | Session B1 Mobilität

Low-Redundancy Realization of Safety-Critical Automotive Functions

Simon Barner and Stefan Matthes (fortiss GmbH); Holger Dormann (Elektrobit Automotive GmbH, Germany); Angelika Schingale (Vitesco Technologies GmbH, Germany); Eberhard Kaulfersch
(Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems, Germany); Michael Eichhorst and Lutz Scheiter (Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH, Germany); Holger Schmidt (Infineon, Germany); Jürgen Gebert (BMW Group, Germany)

Dienstag, 9. November 2021, 17:35 - 17:55 Uhr | Session B3 Wirtschaft und Nachhaltigkeit

Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie

Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Sven Zimmermann (Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Germany); Philip Schmitt (Ruhr University Bochum, Germany); Chris Stöckel (Technische Universität Chemnitz, Germany); Roman Forke and Volker Geneiss (Fraunhofer ENAS, Germany); Christian Hedayat (Fraunhofer Institute ENAS, Germany); Ulrich Hilleringmann (Universität Paderborn, Germany); Harald Kuhn (Fraunhofer ENAS, Germany)