»Process, Device and Packaging Technologies«

»MEMS Technologieplattformen«

Gruppenleitung »MEMS/NEMS Technologien«, stellv. Ombudsperson

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz

Telefon +49 371 45001-400