Bruker Seminar/Workshop  /  05. Juli 2023

Advanced Surface Metrology Solutions for SEMI-MEMS & Photonic Applications

Fraunhofer ENAS und Bruker Nano Surfaces laden Sie herzlich zu diesem gemeinsamen eintägigen Seminar und AFM-Workshop in Chemnitz ein, bei dem es um fortschrittliche Lösungen für die Oberflächenmetrologie in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Photonikindustrie geht.

Der Schwerpunkt des Seminars liegt darauf, neue Einblicke in Oberflächencharakterisierungs- und Analysetechniken vom μm- bis zum nm-Maßstab für Anwendungen von der Prozesskontrolle bis zur Fehleranalyse und F&E zu vermitteln. Die folgenden Techniken werden behandelt:

  • Industrielle Rasterkraftmikroskopie (AFM)
  • Weißlicht-Interferometrie (WLI)
  • Photothermisches AFM-IR
  • Nanomechanische Metrologie
  • Mehrwinkel-Reflektometrie

In der praktischen Sitzung am Nachmittag zeigen wir Ihnen, wie Sie automatisierte AFM-Messungen auf dem Dimension ICON PRO300 einrichten, Oberflächenrauheit und Stufenhöhe genau messen und tiefe schmale Gräben und Löcher mit PeakForce DT-Tastköpfen meistern können.

Sie können auch eine individuelle Vorführung vereinbaren und Ihre eigene Probe mit dem Dimension ICON PRO300 AFM und/oder dem ContourX-500 WLI in der Nachmittagssitzung oder am folgenden Tag messen lassen.

Bitte buchen Sie Ihre individuelle Vorführung unter Klaus.Pross@bruker.com. Da die Verfügbarkeit begrenzt ist, empfehlen wir Ihnen, im Voraus zu buchen.

 

Programm Flyer und Agenda