Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeEin Fokus der Forschungs- und Entwicklungsarbeiten des Fraunhofer ENAS liegt auf dem Gebiet der Inertialsensorik für verschiedene Anwendungen, kundenorientiert, innovativ und höchst präzise. In Projekten gemeinsam mit der Industrie werden kundenspezifische Lösungen erarbeitet, umgesetzt und getestet.
Inertialsensoren erfassen Beschleunigung, Neigung oder auch Winkelgeschwindigkeit (im freien Raum, ohne dass eine externe Referenz erforderlich ist). Durch das Co-Design von Mikromechanik und Mikrotechnologie entstehen bei uns innovative Sensoren, die den Stand der Technik deutlich überschreiten.
Fraunhofer ENAS beschäftigt sich mit dem Entwurf der mikromechanischen Komponenten, der stetigen Weiterentwicklung der MEMS-Technologien, der Systemarchitektur für die jeweiligen Sensoren, der Charakterisierung von MEMS Sensoren auf Wafer- und Chiplevel sowie der Charakterisierung und Kalibration der kompletten Sensorsysteme bis hin zur Datenaufbereitung und Entwicklung geeigneter Algorithmen zur Verarbeitung verschiedener Sensorsignale.
Unsere Sensorsysteme entstehen in enger Kooperation zu unseren Partnern und sind individuell auf die jeweiligen Bedürfnisse der Auftraggeber und Partner angepasst. Die Entwicklung und Fertigung der integrierten Schaltkreise wird durch unsere Kooperationspartner durchgeführt. Die MEMS selbst werden in den Chemnitzer Reinräumen bis hin zu kleineren Serien gefertigt. Bei Bedarf und mit den entsprechenden Randbedingungen können sie in Foundry-Linien überführt werden. In den vergangenen Jahren wurden verschiedene Demonstratoren für die jeweiligen Sensorsysteme entwickelt.