Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeUltraschallwandler sind vielen aus der pränatalen Diagnostik bekannt und begleiten unser Leben daher schon vor unserer Geburt. Ultraschall ist ein effektives und zumeist nicht-invasives Untersuchungsverfahren und gehört aufgrund des Wirkprinzips der nicht ionisierenden Strahlung zu den sichersten bildgebenden Verfahren. Neben der Medizintechnik ist die zerstörungsfreie Prüfung innerer Strukturen mit Ultraschallwandlern aber auch für die industrielle Sensorik und Consumer-Anwendungen von hohem Interesse.
Das Fraunhofer ENAS verfügt über Technologien zur Herstellung von mikromechanischen Ultraschallwandlern (MUT – micromachined ultrasonic transducer). Jeder Ultraschallwandler besteht aus einer Vielzahl von Basiszellen, die elektrisch zum Schwingen angeregt werden. Diese Schwingungen werden in die Umgebung als Schallsignal abgegeben. Treffen die Schallwellen auf ein Objekt, z.B. Gewebe, wird das Signal reflektiert und der MUT-Elektronik wertet die Daten aus.
Je nach Anwendung können die MUTs kapazitiv (CMUT) oder piezoelektrisch (PMUT) betrieben werden. Neben der Technologie zur Herstellung der Wandler verfügt das Fraunhofer ENAS über Expertise zur Entwicklung von Packaging-Konzepten zum Schutz der MUTs in den jeweiligen Einsatzumgebungen sowie zur Entwicklung einer kundenspezifischen Elektronik und Systemintegration, auch für harsche Applikationsumgebungen.