Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Geschichte
1993
Mit der Gründung des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM in Berlin durch Prof. Reichl, Prof. Scheel und Prof. Michel wird eine Projektgruppe in Chemnitz unter Leitung von Prof. Michel etabliert.
1998
Die Abteilung Micro Devices and Equipment unter Leitung von Prof. Geßner wird gegründet.
2006
Auf Grund der positiven Entwicklung wird Chemnitz ein Institutsteil des Fraunhofer IZM und erhält eine eigene Kostenstelle. Die Abteilungen Micro Materials Center Chemnitz und Advanced System Engineering (Paderborn) werden in den Institutsteil Chemnitz integriert.
2006
Der Vorstand der Fraunhofer-Gesellschaft beschließt den Bau eines Gebäudes für den Institutsteil Chemnitz.
2008
Die Abteilungen Back-end of Line und Printed Functionalities werden gegründet.
1. Juli 2008
Mit der Überführung des Institutsteils Chemnitz des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration in die Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS verstärkt die Fraunhofer-Gesellschaft ihre Aktivitäten zur Nanotechnologie in Sachsen.
22. Juni 2009
Einweihung des neuen Fraunhofer ENAS Gebäudes in Chemnitz.
Juli 2009
Die Abteilung System Packaging wird gegründet.
2010
Audit Fraunhofer ENAS und Empfehlung zur Umwandlung in ein Institut.
1. Januar 2011
Umwandlung der Fraunhofer-Einrichtung in das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Mai 2012
Einweihung microFLEX-Center