3D-konform abgeschiedenes Parylene kann Eigenschaften wie extrem dünne Schichtdicke (<1 µm möglich), fehlende Porösität und Pin-hole Freiheit für innovative Anwendungen in der Aufbau- und Verbindungstechnik eingesetzt werden.
Funktionsschicht
- Einsatz von Parylene als Funktionsschicht in Mikrosystemen, z. B. als Membran
- Einsatz als optisch transparente Verkapselung von Flüssigkeiten
- Einsatz als durchlässiges Material, Bestimmung der Durchlässigkeitsraten, z. B. Filter
Packaging
- Nutzung dünner Schichten und Verzicht auf herkömmliche Gehäuseformen
- Nutzung von Parylene als Bondzwischenschicht
Verkapselung
- Multischichtansatz
- Biokompatibles Packaging