Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Tom Rothe gewann den Doi-Award für das beste Student Paper auf der ICPT 2022 - der International Conference on Planarization Technology - für seinen Beitrag »A hybrid chemical mechanical planarization (CMP) model for time-dependent, spatial removal rate optimization«.
Die ICPT 2022 - International Conference on Planarization Technology - fand mit 400 Präsenz- und 200 Online-Teilnehmenden vom 27. - 29. September 2022 in Portland, Oregon, U.S.A. statt. Der Doi-Award wird für das beste Student Paper vergeben und ist benannt nach Prof. Dr. Toshiro K. Doi, einem der Pioniere der CMP, welcher auf der ICPT2022 für sein Lebenswerk geehrt wurde.
Tom Rothe ist Doktorand von Prof. Harald Kuhn und arbeitet am Fraunhofer ENAS im Functional Team Artificial Intelligencen unter Leitung von Dr. Jan Langer. Zuvor war er bereits als Student zum Thema künstliche Intelligenz am Fraunhofer ENAS in der Gruppe »Simulation von Prozessen, Materialien & Bauelementen« von Dr. Jörg Schuster tätig und erhielt 2018 seinen Bachelor- sowie 2021 seinen Masterabschluss in Physik an der Technischen Universität Chemnitz. In seiner aktuellen Forschungsarbeit verbindet er physikalische Modelle mit modernen Machine-Learning-Methoden zu resilienten Prozessmodellen des Chemisch-Mechanischen Planarisierens (CMP). Um einen Demonstrator für einen Digitalen Zwilling in der High-Mix-Low-Volume Halbleiterfertigung am Beispiel des CMP-Prozesses zu entwickeln, arbeitet er eng mit der Gruppe »Nass-und Oberflächenprozesse« unter Leitung von Dr. Knut Gottfried am Fraunhofer ENAS zusammen.