FAB-Management

Übergreifende Themen

Das FAB-Management umfasst die Planung, Organisation und Umsetzung als auch Kontrolle der Abläufe im Reinraum und hat somit die Optimierung von Qualität, Kosten und Zeit als Ziel.

Das Fraunhofer ENAS betreibt im Rahmen der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland einen Fokus-Reinraum für die Vorfeldentwicklung und Fertigung von MEMS (nicht CMOS-kompatibel) und Nanodevices auf 150 und 200 mm Substraten. Der Spagat zwischen Forschung und zum Teil Kleinserienfertigung stellt besondere Herausforderungen an das FAB Management. Entscheidend für die Erreichung des oben formulierten Ziels ist die Einführung des Manufacturing Execution Systems (MES). Das MES stellt Informationen zum Materialbearbeitungsstand, Durchlaufzeiten und Qualitätsstatus transparent dar. Durch die einhergehende Maschinenintegration werden zudem Prozessdaten als auch Maschinendaten erfasst und aufbereitet und für die statistische Prozesskontrolle (SPC) genutzt. Dies ist Voraussetzung für eine höhere Prozess- und Anlagenstabilität trägt somit zur Qualitätssicherung bei. Gerade Forschungsentwicklungen können damit schneller in ein höheres TRL überführt werden.

Zusätzlich verknüpft das MES alle Reinräume der FMD-Institute und ermöglicht einen standardisierten Austausch von Substraten und Daten. Das erschließt die technologische Vielfalt von Waferprozessierungen und deren Nutzung für alle Institute. Insbesondere für unsere Kunden sichert die institutsübergreifende Koordination und Nutzung von Equipment und Prozessen einen niederschwelligen Zugang zu Hochtechnologie.

 

 

Inline Metrology and Process Data