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Halle N2, Stand 2677
Deutscher Gemeinschaftsstand
Das Fraunhofer ENAS zeigt am deutschen Gemeinschaftsstand in Halle N2:
Optisches Sensorsystem zur Qualitätskontrolle von Galvaniklösungen
Demonstrator
Hochpräzise MEMS/Inertialsensoren
Hochpräzise MEMS, u.a. Neigungssensor, 5G-Beschleunigungsmesser, 2-achsiger Beschleunigungssensor
Nanostrukturierte und Nanopartikel-basierte Sensoren
Demonstrator und Samples auf Folie und Glassubstrat zum Feuchtesensor
Fabry-Pérot-Interferometer, Filterchips
Niedrigtemperatur Waferbonding-Technologien
Reaktives Bonden
Oberflächenaktivierte Direktbonden
SLID-Bonding
Packaging
Multifunktionale MEMS für Hochtemperaturanwendungen
Parylenbeschichtung
Aerosol-Jet-Drucken
3D-Integrationstechnologien
MEMS-Samples mit integrierten TSV
Silizium-Interposer
Das Fraunhofer ENAS stellt ein Monitoringsystem für die Qualitätskontrolle von Flüssigkeiten und Lösungen, wie z.B. Prozessflüssigkeiten, auf der SEMICON China 2018 vor. Das System stellt fest, ob Parameter von ihrem vordefinierten Wert abweichen. Die Zusammensetzung der Lösung kann dann, wenn nötig, direkt nachreguliert werden. Das Sensorsystem arbeitet autark mit kurzen Messzeiten und kann an verschiedenen Anwendungen angepasst werden.
Auf der CSTIC 2018 präsentiert Ray Saupe, wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer ENAS,
am Sonntag, dem 11. März 2018, um 15:55 Uhr
“Nanostructures for Smart Systems"
auf dem Symposium VIII: MEMS, Sensors and Emerging Semiconductor Technologies
in Session II: Semiconductor Technology in Healthcare
Meeting Room：3I+3J, Shanghai International Convention Center
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme