Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik
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Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik

Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik#

Micro and Nanoelectronics

Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik mit Fokus auf Back-End of Line und Interconnects#

Die Mission der Nanoprozessintegration am Fraunhofer ENAS ist verschiedene Einzelprozesse der Mikro- und Nanotechnologien unter Einbeziehung auch neuartiger Materialien bzw. komplexer Multilagenstapel bei Dimensionen bis in den sub-Nanometerbereich in eine dem Einsatzzweck entsprechende und zuverlässige Gesamttechnologie zu überführen.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien#

 

Neue Charakterisierungsver-fahren für die Oberflächenbearbei-tung

 

In Situ Plasmadiagnostik für Ätzprozesse in der Mikro- und Nanoelektronik

 

Gasphasenabscheidung (CVD) von Diffusions-barrieren und Metallen

 

Atomlagenabscheidung (ALD)

 

 

 

 

 

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Charakterisierung von Kupferlegierungen für selbstformierende Barrieren

 

Technologien für die Spintronik