Microcluster von Roth & Rau Microsystems für die Abscheidung und Charakterisierung von Dünnflimen.
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Microcluster von Roth & Rau Microsystems für die Abscheidung und Charakterisierung von Dünnflimen.

Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik

Micro and Nanoelectronics

Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik

Die Mission der Nanoprozessintegration am Fraunhofer ENAS ist verschiedene Einzelprozesse der Mikro- und Nanotechnologien unter Einbeziehung auch neuartiger Materialien bzw. komplexer Multilagenstapel bei Dimensionen bis in den sub-Nanometerbereich in eine dem Einsatzzweck entsprechende und zuverlässige Gesamttechnologie zu überführen.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

Neue Charakterisierungsver-fahren für die Oberflächen-bearbeitung

 

In Situ Plasmadiagnostik für Ätzprozesse in der Mikro- und Nanoelektronik

 

Gasphasenabscheidung (CVD) von Diffusions-barrieren und Metallen

 

Atomlagenabscheidung (ALD)

 

 

 

 

 

 

 

Charakterisierung von Kupferlegierungen für selbstformierende Barrieren

 

Technologien für die Spintronik