Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik
Die Mission der Nanoprozessintegration am Fraunhofer ENAS ist verschiedene Einzelprozesse der Mikro- und Nanotechnologien unter Einbeziehung auch neuartiger Materialien bzw. komplexer Multilagenstapel bei Dimensionen bis in den sub-Nanometerbereich in eine dem Einsatzzweck entsprechende und zuverlässige Gesamttechnologie zu überführen.