Micro and Nanoelectronics
Die Mikro- und Nanoelektronik gehört zu den Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Die fortschreitende Skalierung (More Moore), die Integration unterschiedlichster Funktionalitäten (More than Moore) sowie die Entwicklung neuer nichtsiliziumbasierter Materialien (Beyond CMOS) gehören zu den gefragtesten Themen. Das Geschäftsfeld fokussiert dabei vor allem auf:
Material- und Prozessintegration
Aufbau- und Verbindungstechnik für miniaturisierte Bauelemente und System
Modellierung und Simulation technologischer Prozesse, Anlagen und Bauelemente
Beyond-CMOS- und HF–Bauelemente sowie integrierte Schaltungen und Technologien
Elektromagnetische und thermomechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung