Geschäftsfeld

Die Mikro- und Nanoelektronik gehört zu den Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Die fortschreitende Skalierung (More Moore), die Integration unterschiedlichster Funktionalitäten (More than Moore) sowie die Entwicklung alternativer Technologien jenseits der Skalierungsgrenzen von CMOS (Beyond CMOS) sind die fortlaufenden Entwicklungstrends. Das Geschäftsfeld fokussiert dabei vor allem auf:

Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik mit Fokus auf Back-End  of Line und Interconnects

Modellierung und Simulation technologischer Prozesse, Anlagen und Bauelemente

Beyond-CMOS- und HF–Bauelemente, integrierte Schaltungen und Technologien (memristive Bauelemente, Hochfrequenzschalter und CNT-FETs für Hochfrequenzanwendungen)

Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) und (Heterogene) Integration (2D, 2,5D, 3D)  für elektronische Bauelemente

Elektromagnetische und thermomechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung