Chemnitz  /  23.10.2012  -  24.10.2012

11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik

- Mikromechanik & Mikroelektronik -

Am 23. und 24. Oktober 2012 findet der elfte regionale Mikrosystemtechnikkongress statt. Die Reihe der Fachtagungen startete bereits im Jahr 1992. Die Veranstaltung wird durch Prof. Mehner und Prof. Herrmann von der TU Chemnitz organisiert. Die Tagung informiert über Entwicklungen und Forschungsergebnisse in der Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik und Mikromechanik. Das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) und das Fraunhofer-Institut für Elektronischen Nanosysteme ENAS sind als Kompetenzzentren in die Tagung involviert.

In der begleitenden Ausstellung zeigt das Fraunhofer ENAS gemeinsam mit dem Zentrum für Mikrotechnologien ein autarkes Sensorsystem zur Überwachung von Hochspannungsleitungen.

Vorträge:
Mittwoch 24. Oktober 2012

Session 4: Werkstoffe, Zuverlässigkeiten

10:30-10:50 Uhr
"Hochgenaue Bestimmung mechanischer Spannungen in Elektronik- und MEMS-Komponenten durch ein Stressmesschip" Schindler-Saefkow, F.; Otto, A.; Faust, W.; Wunderle, B.; Michel, B.; Rzepka, S.; Fraunhofer ENAS, Micro Materials Center, Chemnitz; Berliner Nanotest und Design GmbH, Chemnitz

Session 5: Messtechnik, Technologie

11:10-11:30 Uhr
"Innovative Charakterisierungsplattform zur Bewertung von Thermischen Interface-Materialien (TIM)" AboRas, M.; Wunderle, B.; Schacht, R.; May, D.; Winkler, T.; Michel, B.; Berliner Nanotest und Design GmbH, Berlin; Fraunhofer ENAS, Micro Materials Center, Chemnitz; TU Chemnitz; Hochschule Lausitz (FH), Senftenberg

11:30-11:50 Uhr
"Festigkeitsanalyse an thermokompressionsgebondeten Sensorstrukturen auf Waferlevel" Vogel, K.; Baum, M.; Roscher, F.; Rank, H.; Mayer, T.; Wiemer, M.; Geßner, T.; Fraunhofer ENAS, Chemnitz; TU Chemnitz; Robert Bosch GmbH

11:50-12:10 Uhr
"Field emitting carbon nanotubes in MEMS-structures for movement sensors" Loschek, S.; Hermann, S.; Haibo, Y.; Schulz, S.E.; TU Chemnitz, Center for Microtechnologies

12:30-12.50 Uhr
"Laserbasierter Multilayer-Fügeprozess zur Erzeugung heterogener und druckstabiler mikrofluidischer Systeme" Geidel, S.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Geßner, T.; Fraunhofer ENAS, Multi Device Integration, Chemnitz; TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

Session: DFG-Forschergruppe 1713, TU Chemnitz

10:10-10:30 Uhr
"Wafer level approaches for the integration of carbon nanotubes in electronic and sensor applications" Hermann, S.; Loschek, S.; Fiedler, H.; Haibo, Y.; Bonitz, J.; Schulz, S.E.; Geßner, T.

10:30-10:50 Uhr
"Design of various test stages for SWNT properties investigation on wafer level" Schondelmaier, G.; Hartmann, S.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Mehner, J.; Wunderle, B.

11:30-11:50 Uhr
"Nanoscale simulations of Carbon Nanotubes for NEMS" Wagner, C.; Schuster, J.; Geßner, T.

11:50-12:10 Uhr
"System level modelling of CNT based mechanical sensor" Kolchuzhin, V.; Shende, M.A.; Markert, E.; Wagner, C.; Heinkel, U.; Mehner, J.; Geßner, T.

12:10-12:30 Uhr
"Untersuchung zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren" Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Geßner, T.; Horstmann, J.T.


12:30-12:50 Uhr
"LoC Integrationsstrategien für aufgerollte Sensoren" Harazim, S.; Helke, C.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Otto, T.; Geßner, T.


Posterbeitrag:
"Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics" Köhler, D.; Hiller, K.; Forke, R.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Billep, D.; Heinz, S.; Lange, A.; EDC Electronic Design Chemnitz GmbH; Fraunhofer ENAS Chemnitz; TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien