Nano Device Technologies

Forschungsschwerpunkte

Die Abteilung Nano Device Technologies integriert die folgenden Themenfelder:

 

Nass- und Oberflächenprozesse

Nanostrukturierung

 

Nano-Prozessintegration

 

Kohlenstoff-Nanobauelemente

 

Memristive Bauelemente

 

Prozess-, Anlagen- und Bauelementesimulation

 

3D-Integration