Am 3. Juli 2013 öffnet die nanomicro biz ihr Tore in Tokio. Fraunhofer ENAS nimmt gemeinsam mit japanischen Partnern an der Messe teil.

Die weltgrößte Messe für Mikro-, MEMS- und Nanotechnologien findet seit 1990 jährlich in Tokio statt. Vom 3. bis 5. Juli 2013 werden Aussteller aus aller Welt neuste Entwicklungen und innovative Lösungen im Bereich Mikrofertigungstechnologien und Komponenten auf der nanomicro biz, der ehemaligen Micromachine/MEMS exhibiton, vorstellen. Bereits zum zehnten Mal zeigt Fraunhofer ENAS aktuelle Forschungs- und Entwicklungsergebnisse sowie Prototypen auf dieser Messe, Messestand D-31.

In diesem Jahr konzentriert sich das Fraunhofer ENAS auf innovative Technologien für die Systemintegration wie zum Beispiel reaktives Waferbonden und Technologien für die 3D-Integration. Darüber hinaus werden Prototypen wie hochpräzise Silizium-basierte Inertialsensoren und Polymer-basierte Sensoren zur Messung von Feuchtigkeit oder Beschleunigung gezeigt. Highlight ist ein MEMS-Schalter, der für hohe Frequenzen bis zu 60 GHz mit Schaltzeiten von 10 Mikrosekunden entwickelt wurde. Der Schalter arbeitet mit hohen Kontaktkräften auch bei niedrigen Antriebsspannungen von unter 5 Volt. Dieses MEMS (mikro-elektro-mechanische System) wird in Kommunikationssystemen eingesetzt und ist erfolgreich bis zu einer Milliarde Schaltzyklen getestet worden.

2012 wurde das Fraunhofer Project Center “NEMS / MEMS Devices and Manufacturing Technologies at Tohoku University” in Sendai/Japan gegründet. Ziel des Projektcenters ist die erfolgreiche Überführung von Forschungs- und Entwicklungsergebnissen  in die Industrie. Professor Masayoshi Esashi von der Tohoku-Universität in Sendai und Professor Thomas Geßner, Leiter des Fraunhofer ENAS, koordinieren das Projektcenter gemeinsam. Fraunhofer ENAS arbeitet außerdem mit dem japanischen Exzellenzcluster WPI-AIMR (World Premier International Research Center Initiative – Advanced Institute for Materials Research) der Tohoku-Universität zusammen. So präsentiert auch die Forschergruppe von Prof. Geßner im WPI-AIMR aktuelle Forschungsergebnisse am gemeinsamen Messestand.

Am 4. Juli 2013 wird Professor Thomas Geßner auf dem 6. Deutsch-Japanischen Mikro/Nano-Business-Forum eine Vortrag über “3D-Integration für intelligente Systeme“ halten. Das Forum wird vom Fachverbund für Mikrotechnik e.V. - kurz IVAM - organisiert.