Verstärkung der Institutsleitung des Frauhofer ENAS

Chemnitz, / 23.6.2014

Durch den Vorstand der Fraunhofer-Gesellschaft wurde Prof. Dr. Stefan E. Schulz zum stellvertretenden Institutsleiter des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS bestellt. Fraunhofer ENAS wird neben dem Institutsleiter Prof. Thomas Geßner nun durch die beiden Stellvertreter Prof. Thomas Otto im Bereich Mikrosystemtechnik/Smart Systems und Prof. Stefan Schulz im Bereich Halbleitertechnologie / Mikroelektronik / Nanoelektronik vertreten.

© Fraunhofer ENAS
Prof. Dr. Thomas Geßner (rechts) überreichte die Ernennungsurkunde zum stellvertretenden Institutsleiter an Prof. Dr. Stefan E. Schulz

Prof. Schulz leitet bereits seit 2008 erfolgreich die Abteilung Back-End of Line des Fraunhofer ENAS. Diese Abteilung konzentriert sich auf die Entwicklung neuer Materialien und Technologien für das Leitbahn- und Kontaktsystem (Interconnectsystem) in der Mikro- und Nanoelektronik. Darüber hinaus werden neuen Forschungsthemen adressiert, wie die Magnetosensorik unter Nutzung von XMR-Technologien und die Integration von Kohlenstoffnanoröhren für innovative Sensoren und analoge Hochfrequenzschaltungen. In Kooperation mit dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz werden sowohl Themen und Projekte der Grundlagenforschung, als auch der applikativen Forschung und industriellen Anwendung bearbeitet. Dazu gehören Forschungs-  und Entwicklungsarbeiten im Carbon-Path des cfaed, dem Exzellenzcluster Center for Advancing Electronics Dresden, zur 3D-Integration und Spintronic genauso wie Industriekooperationen mit GLOBALFOUNDRIES, Infineon Technologies oder X-FAB.
Gemeinsam mit M. J. Wolf vom Fraunhofer IZM ASSID leitet er den Fraunhofer-Cluster 3D-Integration.
Prof. Schulz ist ein international anerkannter Spezialist auf diesen Gebieten. Seit 2006 engagiert er sich in den  Programmkomitees der internationalen Konferenzen „Advanced Metallization Conference“ AMC in den USA und des Europäischen Workshops  “Materials for Advanced Metallization” MAM. Die MAM leitete und organisierte er als Chairman bereits fünf Mal (1995, 2005, 2008, 2011 und 2014). Darüber hinaus wirkt er als Gutachter Internationaler Fachzeitschriften, z.B. „Microelectronic Engineering“ und „Materials Chemistry and Physics“ (Elsevier).
Neben der Einwerbung von Großprojekten ist es das Ziel, die Mikroelektronik in Europa, Deutschland und Sachsen weiter zu entwickeln und perspektivisch auszubauen. Dazu leistet Prof. Schulz mit seinem Team einen engagierten Beitrag. dieser Förderpreis zum zehnten Mal vergeben.

Zur Person:
Prof. Dr. Stefan E. Schulz studierte Mikroelektronik und promovierte 1996 auf dem Gebiet Interconnectsysteme an der Technischen Universität Chemnitz. Bis 2008 arbeitete er zunächst als wissenschaftlicher Assistent, später als Oberingenieur am Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz. Von 2003 bis 2008 war der Experte für Mikro- und Nanoelektronik in Nebentätigkeit am ehemaligen Institutsteil Chemnitz des Fraunhofer IZM, dem heutigen Fraunhofer ENAS beschäftigt. Heute ist der gebürtige Erfurter  stellvertretender Institutsleiter  und Leiter der Abteilung Back-End of Line des Fraunhofer ENAS. Seit November 2008 ist er darüber hinaus als Honorarprofessor für „Technologien der Nanoelektronik“ der Fakultät für Elektrotechnik / Informationstechnik der TU Chemnitz bestellt und darüber in die Ausbildung des wissenschaftlichen Nachwuchses eingebunden.