Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeDas abstimmbare Fabry-Perot Interferometer zeichnet sich vor allem durch eine hohe Genauigkeit, sehr gute Parallelität der Reflektoren bereits ohne Closed-Loop-Betrieb, mechanische Widerstandsfähigkeit und typische Mikrosystemeigenschaften wie kleine Abmessungen und geringes Gewicht aus.
Mögliche Anwendungsgebiete des Infrarot-Filters sind:
- Messungen im Spektralbereich bei 3 - 5 µm, 5 - 8 µm und
8 - 11 µm - Messung von Gaskonzentrationen
- spektral aufgelöste Bildverarbeitung (spectral imaging)
Das abstimmbare Infrarot-Filter wurde in Kooperation mit der InfraTec GmbH Dresden und dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz entwickelt und aufgebaut.