Chemnitz,  /  21. Oktober 2014  -  22. Oktober 2014

12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik

- Mikromechanik & Mikroelektronik -

Im Mittelpunkt der Fachtagung stehen Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Wechselbeziehungen zwischen beiden Gebieten.

 

Dienstag, 21. Oktober 2014

Eröffnungssession  
Session 1: Medizinische/Biologische Analyse
Firmenpräsentation  
Posterpräsenstation  
Session 2: Medizintechnik
Session 3:

Nanotechnologie

  • 16:00 Uhr
    Dispersion Preparation for Wafer-Level Liquid Processing of Carbon Nanotube Microsensors
    T. Hille, T. Blaudeck, S. Hermann, S. E. Schulz (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz)
  • 16:20 Uhr
    Raman spectroscopy study of the interaction of gold nanoparticles with carbon-nanotubefield-effect transistors
    J. Kalbacova, R. D. Rodriguez, T. Blaudeck, S. Hermann, E. Sheremet, D. Adner, H. Lang, S. E. Schulz, D. R. T. Zahn (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz)
  • 16:40 Uhr
    Tip-Enhanced Raman Spectroscopy for the Characterization of Carbon Nanotubes
    E. Sheremet, R. D. Rodriguez, A. Krayev, J. Kalbacova, S. Hermann, S. E. Schulz, D. R. Dietrich (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz)
Abendveranstaltung  im Staatlichen Museum für Archäologie Chemnitz

 

Mittwoch, 22. Oktober 2014

 

Begrüßung
  
Session 4:

Entwurf/Simulation

  • 9:45 Uhr
    Modeling of the optimized conditions for carbon nanotube strain sensors
    C. Wagner (TU Chemnitz)
Session 5:

 Technologie I

  • 11:05 Uhr
    Kombination von Laser- und MEMS-Technologieprozessen für Intrgrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen
    C. Helke, T. Enderlein, S. Harazim, J. Nestler, T. Otto, O.G. Schmidt, T. Geßner (TU Chemnitz, IFW Dresden, Fraunhofer ENAS)
Session 6: Technologie II
  • 13:50 Uhr
    Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Beschleunigungs- und Neigungssensorsystemen
    C. Meinecke, A. Bertz, C. Dittrich, S. Schunke, P. Kreutziger, T. Geßner (TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS, GEMAC mbH)
  • 14:10 Uhr
    Entwicklung einer Sprühbeschichtungsanlage für Negativ-Photoresiste
    M. Schönfeld, S. Schubert, J. Saupe, J. Grimm, M. Arnold, G. Schwenzer, A. Voigt (Westsächsische Hochschule Zwickau, TU Chemnitz, micro restist technology GmbH)
  • 14:30 Uhr
    Evaluierung von gesputterten, Pd-basierten metallischen Glasdünnschichten für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
    K. Vogel, Y.-C. Lin, M. Wiemer, S. Tanaka, M. Esashi, T. Geßner (Fraunhofer ENAS, WPI-AIMR, Tohoku University, TU Chemnitz)
Session 7:

Funktionsintegration

  • 15:30 Uhr
    Entwicklung eines intelligenten, textilen Halbzeugs
    J. Schaufuß, R. Decker, M. Dienel, M. Schüller, L. Kroll, T. Geßner, J. Mehner (TU Chemnitz, Kompetenzzentrum Strukturleichtbau e.V., Fraunhofer ENAS)
Session 8:

NEMS/MEMS Charakterisierung

  • 15:50 Uhr
    Entwicklung eines experimentellen Aufbaus zur Systemcharakterisierung von MEMS Gyroskopen auf Waferlevel
    S. Weidlich, R. Forke, S. Konietzka, K. Hiller, T. Geßner (Fraunhofer ENAS, EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, TU Chemnitz)
  • 16:10 Uhr
    Direktintegration von Feldeffettransistoren in Siliziummembranen als piezoresistive Sensorelemente M. Schramm, S. Haas, D. Reuter, S. Heinz, K.-U. Loebel, J. T. Horstmann, T. Geßner (TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS)
  • 16:30 Uhr
    Micro and Nano Scale Tensile and Fatigue Testing Using a Specimen Centered Approach
    P. Meszmer, K. Hiller, A. Shaporin, J. Mehner, B. Wunderle (TU Chemnitz)