Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeVom 26. Bis 29. März 2017 fand die MAM2017 - Advanced Metallization Conference in Dresden statt. Im Mittelpunkt der Tagung standen praxisbezogene Aspekte der Halbleiterindustrie.
Über 80 Wissenschaftler aus der ganzen Welt nahmen an dem internationalen Workshop teil. 24 Poster wurden präsentiert. Den Best Poster Award der Wissenschaftler erhielt Frau Dr. Ramona Ecke für ihr Poster „resistive switching behavior of BiFeO3 and BiFeO3:Ti based films on different bottom electrode materials“.
Der Workshop war auf folgende Themen konzentriert:
Materialien, Prozesse & Integration
Schichtabscheidung PVD; CVD; ALD; ELD; ECD; SAMs, reflow; e-beam
Charakterisierung und Modellierung
Anwendungen einschließlich Nano
Weitere Informationen finden Sie unter www.mam-conf.org