Messen und Ausstellungen

Einsatz eines Präzisions-MEMS-Gyroskops zur Bestimmung der Himmelsrichtung

Wir stellen Gyroskope (Drehratensensoren) für den Einsatz in Northfindern vor. Der Gyro-Kompass wird nicht von lokalen Störungen des Erdmagnetfelds beeinflusst und ist unabhängig von Funkverbindungen zu Satelliten. Die Nordsuche basiert auf der hochauflösenden Messung der Erdrehrate und deren Projektion auf verschiedene Messrichtungen. Die Weiterentwicklung von günstigen und kleinen MEMS-Gyroskope macht es nun möglich diese in entsprechenden Anwendungen zu verwenden.   

Inertiale Messeinheit mit höchstpräzisen Drehratensensoren für robotische Anwendungen

Wo ein Bewegungsablauf überwacht oder aufgezeichnet werden soll, kann Inertialsensorik in IMU eingesetzt werden, um z. B. eine Lage und Position im Raum zu ermitteln. Das Kernelement unserer IMU bildet ein hochpräziser Drehratensensor, der in verschiedenen Projekten und seit mehreren Jahren entwickelt wurde. Die Spezifikation bzgl. Rauschen, Auflösung und Stabilität ist auf höchstem Niveau.

Mikromechanische Ultraschallwandler

Wir stellen kapazitive mikromechanische Ultraschallwandler (CMUT) und piezoelektrische Mikrosysteme auf Basis von Aluminiumnitrid (PMUT) vor. In Bezug auf die Anwendungsbereiche ist die medizinische Bildgebung die Hauptanwendung für CMUT, aber diese Technologie findet auch in anderen Bereichen Anwendung (einschließlich Materialanalyse, zerstörungsfreie Prüfung, chemische Sensorik usw.). Piezoelektrische Mikrosysteme mit Aluminiumnitrid (AlN) werden am Fraunhofer ENAS seit einigen Jahren entwickelt. Diese Mikrosysteme besitzen eine hohe Energiedichte, was eine starke Miniaturisierung der Systeme ermöglicht. Damit können Energieverbrauch und Kosten bei der Herstellung der Systeme verringert werden und die Vielfalt der Anwendungsmöglichkeiten steigt.

Minimalinvasiver Kraftsensor basierend auf Carbon Nanotubes

Der Kraftsensoren für den Einsatz in Werkzeugmaschinen bietet eine hohe Steifigkeit bei gleichzeitig hoher Empfindlichkeit. Der Messbereich der Sensoreinheit kann über die Konfiguration des Packagings eingestellt werden.

Stufenlos abstimmbare optische Filter für hyperspektrale Kamerasysteme

Als Partner im M³Infekt-Konsortium entwickelte das Fraunhofer ENAS stufenlos abstimmbare und damit wellenlängenselektive Fabry-Pérot-Filter (FPI) mit großer optischer Apertur für den sichtbaren Spektralbereich von 450 bis 700 nm. Das Filter wurde mit einem Vision-On-Chip-(VSoC)-System kombiniert, welches Fraunhofer IIS/EAS entwickelte. Ziel dabei war es, ein hyperspektrales Kamerasystem aufzubauen, das über die Auswertung der zeitlich aufgelösten hyperspektralen Bildinformationen eine Früherkennung und Überwachung von Patienten ermöglicht.  

Darüber hinaus stellen wir Waferlevel-Packaging, Chiplevel-Packaging und Integrationstechnologien vor und zeigen Parylene-basierte Sensorik, flexible Leiterplatten und Hochbarriereschichten auf Basis von Parylene.