Yokohama/Japan  /  23.4.2014  -  25.4.2014

nanomicrobiz 2014

Halle D, Stand S-23

Fraunhofer ENAS und das Fraunhofer Project Center ‘NEMS/MEMS Devices and Manufacturing Technologies at Tohoku University’ stellen gemeinsam mit der Gessner Group des WPI-AIMR der Tohoku Universität auf der nanomicro biz 2014 in Yokohama, Japan, aus.

Die Fraunhofer-Forscher zeigen Prozessentwicklungen zum Niedrigtemperaturbonden. So werden Ergebnisse für das SLID-(Solid-liquid-interdiffusion)-Waferbonden vorgestellt. Sowie ein Fabry Perot Etalon, das mit diesem Verfahren gebondet wurde. Außerdem präsentiert Fraunhofer ENAS ein tragbares NIR-MEMS-Spektrometer und demonstriert verschiedene Anwendungsmöglichkeiten.

Das Fraunhofer Project Center wurde 2012 in Sendai gegründet. Es bietet Forschung und Entwicklung für Herstellungstechnologien und neue Materialien für Smart Systems, NEMS/MEMS, Waferbonden, Technologien zur Systemintegration und Technologietransfer. Das Project Center in Sendai wird von Professor Masayoshi Esashi und Professor Shuji Tanaka (Tohoku Universität) sowie von Professor Thomas Geßner (Fraunhofer ENAS) geleitet.

Die Forscher der Gessner Group am WPI-AIMR der Tohoku Universität zeigen neue Entwicklungen von Mikrospiegeln aus metallischem Glas und nanoporöse Materialien, wie z. B. nanoporöses Gold, zum Niedrigtemperaturbonden.

 

Vortrag:
Mi, 23. April 2014, 13:40 - 14:00 Uhr
Smart Monitoring Systems
Prof. Dr. Thomas Gessner
in der IVAM Special Session (Annex Hall F 203)
The 20th International Micromachine Nanotech Symposium