Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeBreitband-Beschleunigungssensor
Die Forscher des Fraunhofer ENAS haben einen hochsensitiven Beschleunigungssensor entwickelt. Dieser Sensor wird zur Pulserkennung, zur Überwachung von Patientenlagerung oder zur Kontrolle der Position von Implantaten genutzt. Den in Kooperation mit dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz in BDRIE-Technologie hergestellten Sensor kennzeichnet ein hohes Aspektverhältnis durch besonders tief geätzte Elektrodenstrukturen von bis zu 100 μm Tiefe. Die Sensitivität wird außerdem durch die geringen Abstände zwischen den Elektroden verstärkt. Somit kann das Sensorelement weiter miniaturisiert werden.
Der Breitband-Beschleunigungssensor kann Bewegungen im Pikometerbereich auflösen. Biokompatibles Packaging und Oberflächennanostrukturierung komplettieren die Forschungen zu implantierbaren Systemen am Fraunhofer ENAS.