Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Sensor and Actuator Systems
Das Geschäftsfeld »Sensor and Actuator Systems« umfasst vielfältige Sensor- und Aktuatorsysteme, welche auf unterschiedlichen Technologien und Wirkprinzipien beruhen, sowie Verfahren, Methoden und Sensorik zur Material- und Strukturanalyse. Besonderes Augenmerk liegt auf der zunehmenden Integration von Nanostrukturen. Das Geschäftsfeld adressiert folgende Themenfelder:
Inertialsensorik
Optische Bauelemente/MOEMS
Elektromagnetische Sensorik
Druck- und Kraftwandler
Material- und Struktursensorik