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Neigungssensor

Inertialsensorik#

Sensor and Actuator Systems

Inertialsensorik#

Der Fokus liegt auf der Entwicklung von hochpräzisen siliziumbasierten Sensoren zur Messung von Beschleunigung, Vibration, Neigung und Drehraten. Die gesamte Wertschöpfungskette, beginnend mit dem MEMS- und Systemdesign über die Technologieentwicklung und Prototypenfertigung bis zur Charakterisierung und zum Systemtest, wird abgedeckt.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien#

 

Piezoelektrische Ultraschallwandler aus Aluminiumnitrid mit Mikrobearbeitung

 

Gyrokompass: Einsatz eines Präzisions-MEMS-Gyroskops zur Bestimmung der Himmelsrichtung

 

KoliBriS – Modulare Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungselektronik

 

Viskositätssensor

 

Intense2020: Entwicklung von robusten Beschleunigungssensoren für Automotive-Anwendungen

 

Aluminumnitrid – Innovative piezoelektrische MEMS-Wandler

 

Hochleistungs-MEMS-Drehratesensoren

 

Direkte Integration von belastungsempfindlichen Feldeffekttransistoren für NEMS

 

Piezoelektrische low-power MEMS mit Aluminiumnitrid

 

 

 

Breitband-Beschleunigungssensor