Inertialsensorik

Sensor and Actuator Systems

Inertialsensorik

Der Fokus liegt auf der Entwicklung von hochpräzisen siliziumbasierten Sensoren zur Messung von Beschleunigung, Vibration, Neigung und Drehraten. Die gesamte Wertschöpfungskette, beginnend mit dem MEMS- und Systemdesign über die Technologieentwicklung und Prototypenfertigung bis zur Charakterisierung und zum Systemtest, wird abgedeckt.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

KoliBriS – Modulare Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungselektronik

 

Viskositätssensor

 

Intense2020: Entwicklung von robusten Beschleunigungssensoren für Automotive-Anwendungen

 

Aluminumnitrid – Innovative piezoelektrische MEMS-Wandler

 

Hochleistungs-MEMS-Drehratesensoren

 

Direkte Integration von belastungsempfindlichen Feldeffekttransistoren für NEMS

 

Piezoelektrische low-power MEMS mit Aluminiumnitrid

 

 

 

Breitband-Beschleunigungssensor