Inertialsensorik

Sensor and Actuator Systems

Inertialsensorik

Der Fokus liegt auf der Entwicklung von hochpräzisen siliziumbasierten Sensoren zur Messung von Beschleunigung, Vibration, Neigung und Drehraten. Die gesamte Wertschöpfungskette, beginnend mit dem MEMS- und Systemdesign über die Technologieentwicklung und Prototypenfertigung bis zur Charakterisierung und zum Systemtest, wird abgedeckt.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

Intense2020: Entwicklung von robusten Beschleunigungssensoren für Automotive-Anwendungen

 

Thermo-mechanische Anregung von geschlossenen MEMS-Bauelementen

 

Aluminumnitrid – Innovative piezoelektrische MEMS-Wandler

 

Hochleistungs-MEMS-Drehratesensoren

 

Cu-TSV für MEMS

 

Temporäres Waferbonden für MEMS-Devices

 

Direkte Integration von belastungsempfindlichen Feldeffekttransistoren für NEMS

 

Piezoelektrische low-power MEMS mit Aluminiumnitrid