Taktile Profilometrie

Im Vergleich zur Rasterkraftmikroskopie (AFM – atomic force microscopy) und zu optischen Messverfahren (beispielsweise mittels chromatischem Weißlicht) ist die Charakterisierung von Oberflächen durch ein Oberflächenprofilometer ein taktiles Messverfahren. Dies bedeutet, dass eine Tastnadel mit einer definierten Kraft auf die Probenoberfläche drückt und mit einer voreingestellten Geschwindigkeit eine vorgegebene Strecke abfährt. Das System registriert während der Messung die Auf- und Abbewegung der Nadel in z-Richtung, welche nach der Messung als Profil über die Messstrecke ausgegeben wird.

Anhand des gemessenen Profils können anschließend mittels einer Software verschiedene Parameter berechnet werden:

• Rauheiten (R_a, R_q, R_z, R_t, R_v, R_p)
• Stufenhöhen
• Schichtdicken
• Welligkeiten