Projekte

Ziel des KMU-innovativ Projekts ALPACA ist die simulationsunterstützte Weiterentwicklung einer innovativen Anlagen- und Prozess­technologie, die eine effiziente und präzise Atomlagenbearbeitung ermöglicht.

Die Pilotlinie für »Advanced Packaging and Heterogeneous Integration for Electronic Components and Systems« (APECS) markiert einen bedeutenden Schritt nach vorn bei der Stärkung der Fertigungskapazitäten Europas für Halbleiter und der Chiplet-Innovation im Rahmen des EU-Chips-Acts. Innerhalb der APECS-Pilotlinie trägt Fraunhofer ENAS technologische Expertise in drei Schlüsselbereichen bei: System Technology Co-Optimization (STCO) Designentwicklung, fortgeschrittene Fertigung für Interposer- und Chiplet-Integration sowie umfassende Charakterisierung, Prüfung und Zuverlässigkeitsmethoden (CTR).

In der aufkommenden Advanced Air Mobility (AAM) wird die Fähigkeit des automatischen Landens und Fliegens immer wichtiger. Neue Luftfahrzeugkonzepte benötigen hierfür sehr genaue Geschwindigkeits- und Positionsinformationen mit hoher Integrität. Eine MEMS-basierte Sensorik mit Inertial Reference System (IRS)-Performance kann einen großen Beitrag leisten.

Im Projekt ›KoVoPack‹ entwickeln wir mit unseren Partnern mit neuen Prozessen, Technologien und Anlagen eine ganzheitliche Technologieplattform, mit der sich vollintegrierte elektronische Systeme, sogenannte ›System-in-Package‹-Lösungen (SiP), effizient und kostengünstig herstellen lassen. Damit schaffen wir wichtige Grundlagen für moderne Kommunikations- und Erlebniswelten, die mit den beiden Mobilfunknetzen 5G und 6G möglich werden.

Ziel des Projektes AziTrim ist die Weiterentwicklung und Optimierung einer Prozesskette zur Herstellung von variabel orientierten Gitterstrukturen, für die Nutzung in Augmented Reality (AR) Anwendungen.

Das SAB-Projekt »MIMODI-3D+ - Miniaturisiertes modulares digitales 3D+-Sensorsystem mit optimierter AVT für die intelligente Zustandsüberwachung« kann mit neuen Ansätzen in der Sensorik, Aufbau- und Verbindungstechnik, sowie Datenerfassung und -verarbeitung einen wesentlichen Beitrag zur Verbesserung der prädiktiven Zustands- und Prozessüberwachung an hochdynamischen Anlagen leisten.

Das Projekt MultiALD nimmt auf Basis Aluminium-haltiger Dünnschichtsysteme Wasserdampfbarriere- und sowie kristalline Aktuator-Materialien in den Fokus. Die Arbeiten umfassen die quantenchemisch unterstützte Prozessentwicklung zur Schichtabscheidung, sowie die Charakterisierung.

Im EU-Projekt »GENESIS – Generate in Europe a Sustainable Industry for Semiconductor« macht Fraunhofer ENAS die Chipproduktion nachhaltiger. Unser Teilvorhaben entwickelt digitale Zwillinge für das Chemisch‑Mechanische Planarisieren (CMP), um Ressourcenverbrauch und Emissionen spürbar zu senken – durch weniger Slurry, Pilotwafer und Energie.

Hybride KI-Prozessmodelle machen die Mikroelektronikfertigung effizienter, robuster und nachhaltiger. Wir verknüpfen domänenspezifisches Prozesswissen aus Simulationen und etablierten empirischen Modellen mit datengetriebenen Methoden des Maschinellen Lernens – optimiert für reale Fabrikumgebungen mit kleinen, heterogenen Datensätzen. Ziel ist es, Energie- und Ressourceneinsatz zu senken, Entwicklungszeiten zu verkürzen und die Innovationsfähigkeit am Standort Sachsen gezielt zu stärken.

NOVO ist ein von der Europäischen Innovationskommission gefördertes Projekt, das darauf abzielt, eine Echtzeit-Dosisverifikation während der Behandlung auf nicht-invasive Weise zu ermöglichen. Dies wird erreicht, indem sekundäre Strahlungen, die durch den Protonenstrahl im Körper des Patienten erzeugt werden, detektiert werden, was durch einen neu gestalteten Detektor gemessen und mit der tatsächlichen Protonenreichweite korreliert werden kann. Im Rahmen des Entwicklungsplans wird es notwendig sein, neue Rekonstruktionsalgorithmen zu entwerfen, um die Detektormessungen der abgegebenen Dosis zuzuordnen, sowie Werkzeuge zu entwickeln, die Änderungen am Behandlungsplan in Echtzeit ermöglichen.