Das Fraunhofer ENAS präsentiert 2014 zum ersten Mal auf der Sensor+Test am Gemeinschaftstand der Fraunhofer-Gesellschaft in Halle 12 die MEMS Active Probe. Der am Fraunhofer ENAS und Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz gemeinsam entwickelte Tastkopf wird zur dynamischen Messung kleinster Ströme im Piko- und Nanoampere-Bereich eingesetzt. Mit der MEMS Active Probe lassen sich MEMS-Bauteile auf Chip- und auf Waferebene zuverlässig charakterisieren.


Außerdem zeigt das Institut eine neue Generation von Sensorknoten, die im Projekt ASTROSE entwickelt wurden und zur Zustandsüberwachung von Hochspannungsleitungen eingesetzt werden. Das Sensornetzwerk wurde gemeinsam mit dem Fraunhofer IZM und weiteren Partnern entwickelt.


Am Messestand ist neben hochpräzisen MEMS und Systemen zur Zustandsüberwachung von Anlagen, eine NIR-Mikrospektrometer zu sehen, das in der Prozessüberwachung in Biogasanlagen eingesetzt wird.

 

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