Mikrofluidische Strukturen in Silizium, Glas und Kunststoff
Mikrofluidische Systeme ermöglichen die reproduzierbare Manipulation kleinster Flüssigkeitsmengen. Mögliche Strukturen umfassen neben Kanälen und Reservoiren eine Vielzahl passiver und aktiver Komponenten.
Mit unseren Inhouse-Technologien und -Kompetenzen entwickeln und realisieren wir für unsere Kunden mikrofluidische Strukturen und Systeme in den Materialien:
- Silizium
- Glas
- Kunststoff
Zur Realisierung stehen Inhouse neben der Direktstrukturierung mittels Laserablation und Fräsen lithografische Verfahren sowie Bondprozesse für Materialpaarungen zur Verfügung.