Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Im EU-Projekt »GENESIS – Generate in Europe a Sustainable Industry for Semiconductor« macht Fraunhofer ENAS die Chipproduktion nachhaltiger. Unser Teilvorhaben entwickelt digitale Zwillinge für das Chemisch‑Mechanische Planarisieren (CMP), um Ressourcenverbrauch und Emissionen spürbar zu senken – durch weniger Slurry, Pilotwafer und Energie. So unterstützen wir eine klimafreundliche, effiziente Halbleiterfertigung in Europa und tragen zu den Zielen des European Chips Act bei.
Der Ansatz des Fraunhofer ENAS verbindet Physik, Daten und KI zu robusten, adaptiven Prozessmodellen. Gemeinsam mit Industrie- und Forschungspartnern erproben wir die Lösungen unter realen Fertigungsbedingungen und führen sie in die Praxis über. Das Ergebnis: schnellere Prozessentwicklung, weniger Ausschuss und ein messbarer Beitrag zu einer nachhaltigen europäischen Halbleiter-Wertschöpfungskette – mit Übertragbarkeit auf weitere Prozessschritte.