Multi Device Integration

Im Mittelpunkt der Abteilung Multi Device Integration steht die Integration von NEMS/MEMS in funktionale Module sowie die Entwicklung von NEMS/MEMS auf Basis von Silizium und Nicht‐Silizium‐Materialien (Nanokomposite, Keramiken und Polymere).

Im Bereich der Smart Systems Integration kombiniert die Abteilung MDI insbesondere die Aktivitäten auf folgenden Gebieten:

  • MEMS/NEMS Design,
  • Elektronik‐Design,
  • Sensor- und Systemintegration,
  • Mikrofluidische Systemintegration,
  • Neue Materialien,
  • RF‐MEMS,
  • Messtechnik, Test und Charakterisierung,
  • Optische Systeme.

Ziel der Forschung ist es, ganzheitliche Technologien unter Auswahl vielfältiger Materialien und Komponenten zu entwickeln und anzuwenden, um Produkte anbieten zu können, die durch intelligente Systemintegration die Ansprüche des Anwenders unter verschiedensten Anforderungen erfüllen.

 

Spektrale Technologien und Systeme

Mikrooptischer Chopper

 

RF-MEMS

Foto eines Siliziumwafers mit hermetisch verschlossenen HF-MEMS-Schaltern

 

Hybride Systeme

Simmering

 

Gasfluidik

Aktoren für aktive Strömungskontrolle

 

Flüssigkeitsfluidik

 

Inertialsensorik

 

Sensornetzwerke

Sensorknoten an einer Hochspannungsleitung

 

Piezoelektrische Systeme

Piezoelektrische MEMS-Wandler