Modellierung und Simulation technologischer Prozesse, Anlagen und Bauelemente

Simulation von Bauelementen

Mit modernen Simulationsmethoden wird die Entwicklung, der Entwurf sowie die Optimierung von neuartigen Baulementen oder Schaltungen der Mikro- und Nanoelektronik unterstützt. Neben etablierten Ansätzen wie TCAD kommen Quantentransporttheorie und Elektronenstruktursimulation zum Einsatz, um Bauelemente sowie die verwendeten Materialien auf allen Skalen zu beschreiben.

TCAD und klassische Bauelementesimulation

Quantentransportsimulation von Nanobauelementen

Berechnung von Materialeigenschaften mit Ab-Initio-Methoden

Anwendungsbeispiele: Silizium-Nanodrähte

Anwendungsbeispiele: CNT/Graphen-basierte Bauelemente

Ereignisgesteuerte Modellierung und Simulationen von Mixed-Signal-Schaltungen

Black-Box-Modellierung von multiphysikalischen Systemen

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

Simulation der TaN Atomlagenabscheidung für Kupferdiffusions-barrieren in 28 nm CMOS Bauelementen

 

Bauelementesimulation für die Halbleiterindustrie und Photovoltaik

 

Simulation mechanischer Verspannungen in Bauelementen der 22 nm FDSOI-Technologie

 

Leitfähigkeit von Kohlenstoffnanoröhren mit willkürlichen Defekten

 

Simulation von Bauelementen basierend auf Kohlenstoffnanoröhren

 

Ein dreidimensionales parametrisiertes Simulationsmodel für ULSI-Transistoren mit gespannten Source/Drain-Kontakten und gespannten Nitrid-Linern