Neuartige Prozesskette zur Fertigung variabel orientierter Gitterstrukturen mittel Ionenstrahlätzen auf verschiedenen Substraten - AziTrim

© Fraunhofer ENAS
Gitterstrukturen in einem Wellenleiter für AR-Anwendungen

Ziel des Projektes AziTrim ist die Weiterentwicklung und Optimierung einer Prozesskette zur Herstellung von variabel orientierten Gitterstrukturen, für die Nutzung in Augmented Reality (AR) Anwendungen. Das Vorhaben basiert auf dem Ionenstrahltrimm-Prozess einer scia Trim 200 - Anlage, welche die Grundlage für einen Demonstrator bildet. Im Fokus der Arbeit steht die simulationsbasierte Entwicklung einer innovativen Feinstrahlionenquelle, betrieben mit Inert- und Reaktivgas. Durch die Kombination der Ionenstrahlquelle und eines neuartigen 5-Achsensystems entfallen aufwendige Maskierungs- und Handlings-Prozesse, was einen effizienten Prozess gewährleistet. Weiterhin entstehen zusätzliche Freiheitsgrade für das Design von Wellenleitern in AR-Anwendungen.

Unsere Projektpartner:

  • LSA GmbH, Wolkenstein (Koordinator)
  • scia Systems GmbH, Chemnitz

Projektlaufzeit: 15.05.2025 – 31.12.2027