Parylene in der Mikrosystemtechnik

LED auf Leiterplatte beschichtet mit Parylene in 5 m% NaCl

Parylene in der Mikrosystemtechnik

Querschnitt durch 600 nm Parylene C auf Siliziumstufe

Parylene basiertes Packaging

3D-konform abgeschiedenes Parylene kann Eigenschaften wie extrem dünne Schichtdicke (<1 µm möglich), fehlende Porösität und Pin-hole Freiheit für innovative Anwendungen in der Aufbau- und Verbindungstechnik eingesetzt werden.

Funktionsschicht

  • Einsatz von Parylene als Funktionsschicht in Mikrosystemen, z. B. als Membran
  • Einsatz als optisch transparente Verkapselung von Flüssigkeiten
  • Einsatz als durchlässiges Material, Bestimmung der Durchlässigkeitsraten, z. B. Filter

Packaging

  • Nutzung dünner Schichten und Verzicht auf herkömmliche Gehäuseformen
  • Nutzung von Parylene als Bondzwischenschicht

Verkapselung