Parylene in der Mikrosystemtechnik

Feuchteresistives Packaging mittels Parylene

Parylene in der Mikrosystemtechnik

Verkapseln auf über topographische Strukturen hinweg

Parylene basiertes Packaging

Funktionsschicht

  • Einsatz von Parylene als Funktionsschicht in Mikrosystemen, z. B. als Membran
  • Einsatz als optisch transparente Verkapselung von Flüssigkeiten
  • Einsatz als durchlässiges Material, Bestimmung der Durchlässigkeitsraten, z. B. Filter

Packaging

  • Nutzung dünner Schichten und Verzicht auf herkömmliche Gehäuseformen
  • Nutzung von Parylene als Bondzwischenschicht

Verkapselung