Anlagenübersicht

© Fraunhofer ENAS
Tiefenätzer, Metallätzer und Ionenstrahlätzer am Fraunhofer ENAS

Der Anlagenfuhrpark am Fraunhofer ENAS umfasst im Bereich der Trockenstrukturierung 12 Tools. Je nach Tool nutzen unsere Experten insgesamt sechs unterschiedliche Prinzipien und sieben verschiedene „Chemien“, um eine breite Auswahl an Materialien zu strukturieren oder zu entfernen. Abhängig vom Tool und der Kammer werden ausgewählte in situ Diagnostiksysteme eingesetzt, um in Echtzeit Endpunkte zu bestimmen und Prozessdaten für weitere Anpassung und Optimierung zu analysieren.

 

Prinzip Anlage Precursor Material
DRIE OMEGA, STS Multiplex Fluorbasierend (SF6, CF4, C4F8, CHF3) Si, SiO2, Si3N4, W, Ta, Ti, Ag
RIE (CCP) Leybold, eMxP+ (Centura), FHR (Metall) Chlorbasierend (Cl2, BCl3) Al, AlN, Pt, AlSi, AlSiCu, Ti, Cr, TiO2, Si, Si3N4
ICP Oxford, Sentech, DPS (Centura), FHR (Oxid) Methanbasierend (CH4) ITO, (Cu, Ag)
Remote / Down Stream Tepla, R3T, ASP (Centura) Sauerstoffbasierend (O2) Resist, DLC, Parylene, Cr, Ru, CNTs
Vapor Phase Etching ORBIS 3000 Wasserstoffbasierend (H2) Lack, (Si)
Ionenstrahlätzen (IBE) IBE (Scia) HF (Gasphase) SiO2