Forschungspreis des Fraunhofer ENAS

Am 18. Dezember 2014 erhielt Dr. Sascha Hermann den Forschungspreis des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS für seine Arbeiten zur Waferlevel-Integration von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNTs). / 19.12.2014

© Fraunhofer ENAS
Prof. S.E. Schulz (Fraunhofer ENAS), Dr. S. Hermann (ZfM der TU Chemnitz), Prof. K. Hiller (ZfM der TU Chemnitz, Prof. T. Geßner ( ZfM der TU Chemnitz und Fraunhofer ENAS)

Dr. Sascha Hermann (Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz) arbeitet als Gruppenleiter des Research Moduls Technologie des Kohlenstoffpfades im Exzellenzcluster Center for Advancing Electronics Dresden cfaed der Technischen Universität Dresden. Der Preis wurde für herausragende Leistungen auf dem Gebiet der Waferlevel-Integration von Kohlenstoff-Nanoröhren vergeben. Dabei wurde vor allem die Entwicklung einer Waferlevel-Technologie als Plattform für unterschiedliche Anwendungen von CNTs in elektronischen Bauelementen und Sensoren gewürdigt.
      
Dr. Sascha Hermann hat in den vergangenen Jahren die Forschung zur Integration und Applikation von Kohlenstoff-Nanoröhren in verschiedenen mikro- und nanotechnologischen Bauelementen am Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz und am Fraunhofer ENAS  etabliert und maßgeblich voran getrieben. Er hat dabei insbesondere die anlagen- und prozesstechnischen Voraussetzungen geschaffen und Applikationen von CNTs in den Bereichen Interconnects, Sensorik und integrierte Schaltungen adressiert. Dazu hat Dr. Hermann eine Arbeitsgruppe aufgebaut, welche mittlereweile 8 Mitarbeiter und zahlreiche Studenten umfasst. In seiner wissenschaftlichen Tätigkeit hat er sich neben der CVD von Kohlenstoffnanoröhren insbesondere der Abscheidung mittels Dielektrophorese gewidmet.

Seine wissenschaftlichen Arbeiten weisen ein hohes Maß an Interdisziplinarität auf. Sie münden in bisher ca.50 wissenschaftlichen Publikationen und zwei Patentanmeldungen. Das hohe Interesse der fachwelt an seinen wissenschaftlichen Arbeiten manifestiert sich in vier eingeladenen Vorträgen, u.a. zu internationalen Konferenzen in den USA.
Der Fraunhofer-ENAS-Forschungspreis wurde zum vierten Mal vergeben und geht an Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler, die auf einem speziellen Forschungsgebiet der Mikroelektronik und/oder Mikrosystemtechnik exzellente Forschungsergebnisse erzielt haben.