Tokyo, Japan  /  31. Januar 2024  -  02. Februar 2024

nano tech / MEMS Sensing and Network System 2024

zur nanotech 2024

East Hall 5

German Pavilion (Stand 5L-03J)

Wir stellen unsere Forschungs- und Entwicklungsergebnisse im Bereich der Nanotechnologien und intelligenten Sensorsysteme auf der nano tech und der MEMS Sensing and Network System 2024 in Tokio aus.

Sie finden uns auf dem German Pavilion in der East Hall 5 am Stand 5L-03J.  Dort zeigen wir Entwicklungsbeispiele zu folgenden Themen:

- Technologieplattform für Kohlenstoff-Nanobauteile
- Herstellung von Nanoimprint-Lithographie-Mastern für photonische Anwendungen
- Technologien für Bonding und Packaging auf Waferebene
- Parylene-CVD für verschiedene Anwendungen
- Piezoelektrische und kapazitive mikrobearbeitete Ultraschallwandler
- System zur energieautonomen Schwingungsdetektion