Elektromagnetische Sensorik

Sensor and Actuator Systems

Elektromagnetische Sensorik

Mehrdimensionale magnetische Sensoren auf der Basis des GMR- bzw. TMR-Effektes unter Nutzung von ferromagnetischen Dünnschichten liegen im Fokus dieses Themenfeldes. Sie finden neben der direkten Magnetfeldmessung auch Anwendung in der Messung von z. B. Abstand, Position und Rotation. Weiterhin ist eine elektromagnetische Sensorik zur Nahfeldmessung elektromagnetischer Felder und Bestimmung der Abstrahlcharakteristik entwickelt worden.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

XMR-Sensor mit MHz-Sampling-Rate

 

Elektromagnetische Nahfeldsensoren

 

Monolithisch integrierte 2D-Magnetfeldsensoren basierend auf GMR-Spinventilen