Druck- und Kraftwandler

Sensor and Actuator Systems

Druck- und Kraftwandler

Siliziumbasierte Ultraschallwandler und Umgebungsdruck-sensitive Resonatoren sowie MEMS-Lautsprecher wurden entwickelt. Die Lautsprecher basieren auf neuartigen Materialen und Technologien wie gesputtertem metallischen Glas und gedruckten dauermagnetischen Schichten.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

PMUT – Eine neue Generation von Ultraschallwandlern

  

 

Aluminumnitrid – Innovative piezoelektrische MEMS-Wandler

 

Temporäres Waferbonden für MEMS-Devices