Optische Bauelemente

FPIs für das sichtbare Spektrum

Sensor and Actuator Systems

Optische Bauelemente/MOEMS

Optische Bauelemente/MOEMS sind etablierte siliziumbasierte Systeme, wie durchstimmbare optische Filter und Shutter auf der Basis optischer Bragg-Reflektorschichten, welche durch geeignete Lichtquellen und Detektoren ergänzt werden. Darüber hinaus ermöglichen Quantum Dot-basierte LEDs und Photodetektoren eine kundenspezifische spektrale Sensorik, materialintegrierte Lichtquellen sowie Design- und Anzeigeelemente.

Ausgewählte Beispiele und Anwendungsszenarien

 

FABRY-PÉROT Interferometer für Sensoranwendungen im infraroten Spektralbereich auf dem Weg zur weiteren Miniaturisierung

 

MEMS mit Subwellenlängenstrukturen für Infrarotbauelemente

 

Kohlenstoffnanoröhren als Schwarzschicht-absorber/-emitter für IR-Anwendungen

 

Aluminiumnitrid – Innovative piezoelektrische MEMS-Wandler

 

 

 

 

Temporäres Waferbonden für MEMS-Devices