Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

ALPACA – AtomLagenProzessierung: Anlagentechnologie-Chemikalienversorgung-Anwendungen

Abgeschiedene Multilagenstapel werden in dedizierten Anlagen strukturiert und passiviert: oben: nach der etablierten Prozessierung und unten: im Projekt ALPACA unter Reduzierung und Optimierung der Anlagentechnik.

Die fortschreitende Miniaturisierung und zunehmende Komplexität von Bauelementen in der Mikroelektronik erfordern kontinuierlich neue Lösungen in der Materialbearbeitung. Für neuartige spintronische Bauteile, die in Sensoren und Speichern Anwendung finden, ist eine präzise Strukturierung von metallischen Multilagenstapeln entscheidend. Eine neu zu ent­wickelnde Anlagentechnologie bietet die Möglichkeit, den Produktionsprozess zu vereinfachen und dabei sowohl Kosten als auch Platzbedarf signifikant zu reduzieren. Ziel des KMU-innovativ Projekts ALPACA ist die simulationsunterstützte Weiterentwicklung einer innovativen Anlagen- und Prozess­technologie, die eine effiziente und präzise Atomlagenbearbeitung ermöglicht.

 

Unser Projektpartner:

  • SENTECH Instruments GmbH

Projektlaufzeit: 01.01.2026 – 31.12.2027

 

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