GraSonics – Hochempfindliche Breitband-Graphen-Ultraschallwandler

© Fraunhofer ENAS
Optische Mikroskopaufnahmen eines Si-Chips mit Mikrolöchern vor dem Graphen-Transfer

GraSonics ist ein Projekt von drei Partnern aus drei Ländern (Tschechische Republik, Deutschland und Polen), das Kompetenzen im Bereich Graphen, MEMS und Ultraschall zusammenführt.

Graphenmembranen können als die dünnsten elastischsten Membranen deutlich bessere Schwingungs-, Schallerzeugungs- und Empfangsleistungen bieten als Metall- oder Siliziummembranen. Das Hauptziel ist es, eine innovative Lösung für die aktuelle Nachfrage nach hochpräzisen und breitbandigen Ultraschallkomponenten zu liefern, die in vielen Bereichen wie Kollisionserkennung und Echoortung, Roboteranwendungen oder medizinische Bildgebung eingesetzt werden können. GraSonics wird Graphenschichten als vibrierende Membranen für elektrostatisch betriebene, kapazitive, mikromaschinelle Ultraschallwandler (CMUTs) einsetzen, insbesondere für Luft- Ultraschallwandler mit hohen Frequenzen (>300 kHz).

Fraunhofer ENAS hat die Entwicklung von CMUT-artigen Siliziumchips übernommen, die für die Übertragung von Graphenmembranen geeignet sind, und einen wesentlichen Beitrag zu den Arbeiten in den Bereichen MEMS-Design, Herstellung und Integration geleistet sowie die Charakterisierung und Auswertung unterstützt.

 

Unsere Projektpartner:

  • J. Heyrovsky Institute of Physical Chemistry (Koordinator)
  • PBP OPTEL Sp. z o.o.

Projektlaufzeit: 15.06.2022 – 31.12.2025