nano micro biz 2015

Das Fraunhofer ENAS präsentiert auf der diesjährigen nano micro biz in Yokohama, Japan, ausgewählte Technologien und Entwicklungsbeispiele für MEMS und NEMS.

Zum ersten Mal zeigt das Fraunhofer ENAS einen MEMS-Lautsprecher, dessen Membran aus einer dünnen Schicht metallischen Glases besteht. Metallische Gläser besitzen auf Grund ihrer amorphen Mikrostruktur herausragende mechanische Eigenschaften im Vergleich zu kristallinen Werkstoffen und können mit Standardprozessen der Mikrotechnologie abgeschieden werden.

Aus dem Portfolio weiterer MEMS-Aktoren, die am Fraunhofer ENAS entwickelt wurden, werden außerdem folgende gezeigt:

• Hochfrequenz-Schalter
  
• Fabry-Pérot-Interferometer
  
• Aktor zur aktiven Strömungsbeeinflussung

Die Forscher präsentieren außerdem einen monolithisch gefertigten 2D-GMR-Sensor.

Ergebnisse aus folgenden Technologieentwicklungen werden ebenfalls ausgestellt:

• Aerosol-Jet-Drucktechnologie 
• Waferbonden mit reaktiven Multischicht-Systemen
  
• Lasermikrobearbeitung  

Vortrag:

Jörg Frömel, Fraunhofer ENAS, präsentiert auf The 21. International Micromachine Nanotech Symposium aktuelle Forschungsergebnisse in seinem Vortrag:

„MEMS devices enabled by material innovation”

Jörg Frömel, Fraunhofer ENAS

22. April 2015, 16:05 – 16:25 Uhr, Annex Hall F 203

The 21st International Micromachine Nanotech Symposium
Advanced MEMS ＆ Sensor Technologies for Future Industry Growth
presented by Micromachine Center