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Gemeinschaftsstand des Fraunhofer-Verbundes Mikroelektronik
Fraunhofer ENAS zeigt seine Entwicklungen im Bereich Technology: from CMOS to Smart Systems und Energy Efficient Systems auf dem Gemeinschaftsstand des Fraunhofer-Verbunds Mikroelektronik auf der SEMICON Europa 2016.
Das diesjährige Hauptthema bei Fraunhofer ENAS ist die Integration von Kohlenstoffnanoröhrchen auf Waferebene für Elektronik und Sensoranwendungen. Dazu wird eine Waferlevel-Technologieplattform von Fraunhofer ENAS gemeinsam mit dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz und innerhalb des Exzellenzclusters cfaed an der TU Dresden / TU Chemnitz in der Forschergruppe Carbon Nano Devices aufgebaut. Am Messestand werden auf Waferebene hergestellte CNT-FETs live mit einer kleinen transportablen Messstation charakterisiert.
Des Weiteren stellt das Fraunhofer ENAS seine Arbeitsbereiche innerhalb des ALD Lab Saxony vor.
Die zentralen Themen des Instituts im größten deutschen ALD-Cluster sind
- Metall-ALD, z.B. Cu, Ni, Co
- Abscheidung von Oxiden und Nitriden
- Modellierung des chemnischen Prozesses und der Anlagen
- In situ Analysen (XPS, Raman).
Außerdem präsentiert das Insitut seine zentralen Arbeitsthemen auf dem Gebiet des MEMS-Packaging:
– Wafer-Level-Packaging und MEMS-Packaging
– 3D-Integration mit Durchkontaktierung (Through Silicon Substrate Via – TSV )
– Handling dünner Wafer
– Wafer-, Chip- und Drahtbonden
– Nanoimprint-Lithografie und Heißprägen
– Aerosol-Jet-Drucken und Siebdruck
– Spray-Coating und Spin-on
– Schichtabscheidung mittels Parylene®, PLD, PVD und ECD
– Oberflächenaktivierung mittels CMP und Plasma
– Die-Separation
– Mikro-Energiespeicher und SuperCaps
– Elektrische, mechanische und thermische Verbindung
– Spezielle Substrate und Interposer
– Charakterisierung (Dichte, Stärke, Ultraschall- und IR-Mikroskopie)
Mi, 26. Oktober 2016 - 15:00 Uhr
TechArena - Fraunhofer Group for Microelectronics Session
Advanced Technologies and Devices for Energy Efficient Systems
Prof. Dr. Stefan E. Schulz
(stellv. Institutsleiter des Fraunhofer ENAS)
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme