Downloads

Willkommen im Downloadbereich des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS. Hier können Sie neben den Datenblättern zu den Produkten und Anwendungen des Fraunhofer ENAS auch Informationsbroschüren zum Institut sowie den Jahresbericht als pdf-Version herunterladen.

Hier finden Sie Datenblätter aus den Bereichen Sensoren/Aktoren und Systeme, Technologie und Test des Fraunhofer ENAS als pdf-Version zum Download. Alle Angaben in den Datenblättern sind vorläufig und können sich ändern. Bei den beschriebenen Systemen, Materialien und Prozessen handelt es sich nicht um Produkte, sondern um Prototypen, die auf Anforderung der Kunden weiter entwickelt werden können.

Komponenten

Inertialsensoren  
High Precision +/- 10° Inclination Sensor (Englisch) Download
Sensoren  
High-sensitive humidity sensors based on nanocomposites (Englisch) Download
Energieversorgung  
Printed Thin Film Battery (Englisch) Download
Printed Thin Film Battery (Japanisch) Download
Smart universal power antennas for wireless energy transmission (Englisch) Download
Kommunikation  
Printed Antennas (Englisch) Download

 

 

Systeme

Miniaturized NIR/MIR Spectrometer (Englisch) Download
Miniaturized NIR/MIR Spectrometer (Japanisch) Download
Miniaturisierte durchstimmbare Bandpassfilter für den infraroten Spektralbereich Download
Integration von Sensoren mit autarker Energieversorung in einem Simmering Download
Grease Sensor for Condition Monitoring of Rolling Bearings (Englisch) Download
ASTROSE - Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen Download
Fully-integrated microfluidic cartridges for in-vitro diagnostics (Englisch) Download

 

 

Simulation

Process and equipment simulation of chemical vapor deposition (Englisch) Download
Device simulations for semiconductor industry and photovoltaics (Englisch) Download
Simulation of sputter deposition (Englisch) Download

 

 

Systemintegration & Packaging

Bonding  
Solid-liquid Interdiffusion Bonding (SLID) auf Waferebene Download
Direktes Bonden durch chemisch-reaktive Plasmaentladungen Download
Reaktives Bonden mit Multi-Nanoschicht-Systemen Download
Thermocompressions wafer bonding with thin metal layers (Englisch) Download
Reactive Bonding by using multi nano layer systems (Englisch) Download
Semi-finished bonded substrates (Englisch) Download
Semi-finished bonded substrates consisting of photosensitive Foturan and Borofloat 33 (Englisch) Download
Semi-finished bonden substrates consisting of piezo- and pyroelectric lithium tantalate and glass (Englisch) Download
Semi-finished bonded substrates: Silicon on glass (SOG) (Englisch) Download
Semi-finished bonded substrates consisting of lithium tantalate and Silicon (Englisch) Download
Semi-finished bonded substrates: SOI-Wafer (Silicon on insulator) (Englisch) Download
3D Integration
Silicon Interposer for 3D sensor systems (Englisch) Download
3D Integration: TSV processes and wafer thinning (Englisch) Download
weitere Technologien  
Siebdruck für MEMS-Packaging und Waferbonden  
Aerosol Jet Printing Download
Screen Printing for MEMS Packaging and Wafer bonding (Englisch) Download
Aerosol Jet Printing (Englisch) Download
Characterization  
Hermetizitätsbewertung gebondeter Mikrochips Download
Ultraschallmikroskopie Download
Festigkeitsanalysen an Bondverbindungen Download

 

 

Technologien

Nanoimprint Lithographie Download
Atomic Layer Deposition and targeted application areas (Englisch) Download
Integration of Carbon Nanotubes and Applications (Englisch) Download
Electrochemische Abscheidung aus ionischen Flüssigkeiten Download

 

 

Testverfahren

MEMS Parameter Identifikation (Englisch)
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