Fraunhofer-Institut für Elektronische NanosystemeDie Aerosol-Jet-Technologie gehört zu den so genannten „Direct Maskless Writing“-Technologien. Am Fraunhofer ENAS werden unter Einsatz dieser Technologie kleinste Strukturen auf planaren und topographischen Substraten / Oberflächen gedruckt. Dabei werden neben dielektrischen Polymeren auch Nanopartikel-Tinten verarbeitet und untersucht, um isolierende und leitfähige Strukturen zu erzeugen. Das Verfahren basiert auf der Zerstäubung der Tinten zu einem Aerosol. Durch eine Fokussierung des Aerosolstrahles lassen sich minimale Linienbreiten von 10 µm auf dem Substrat erzeugen, wobei Druckgeschwindigkeiten von ca. 100 mm/s die Herstellung auch komplexer Designs ermöglichen.
Ein Schwerpunkt der Untersuchungen liegt dabei auf dem Einsatz dieser innovativen Technologie für die Aufbau- und Verbindungstechnik der Mikrosystemtechnik.