Chemnitz, Hotel Mercure  /  25.10.2016  -  26.10.2016

MST-Fachtagung 2016

Zum 13. Mal findet die Chemnitzer Fachtagung statt und lädt Spezialisten der Mikromechanik und Mikroelektronik zum wissenschaftlischen Austausch ein.
Das Fraunhofer ENAS und das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz sind als Kompetenzzentren in die Tagung involviert. Sie präsentieren sich in der Ausstellung und mit Fachvorträgen und Postern.

 

Vorträge

Di, 25. Oktober 2016
16:35 Uhr - Session 3: Fabrikation und Technologie
Elektronenstrahl-lithographisch erzeugte Nanostrukturen für optische Mikrosysteme.
G. Heldt, A. Weiß, C. Helke, J.W. Erben, T. Otto, K. Hiller, D. Reuter, T. Geßner
Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS

Mi, 26. Oktober 2016
9:45 Uhr - Session 4: Messtechnik, -methoden, -aufbauten
Bestimmung viskoelastischer Eigenschaften von Polymeren mittels Nanoindentation.

M. Weißbach, J. Albrecht, S. Rzepka
Fraunhofer ENAS

Mi, 26. Oktober 2016
15:40 Uhr - Session 7: MEMS-NEMS Charakterrisierung und Zuverlässigkeit
Electrical Analysis of Integrated Field Effect Transitors as Electromechanical Transducer for Stress.
G. Heldt, A. Weiß, C. Helke, J.W. Erben, T. Otto, K. Hiller, D. Reuter, T. Geßner
Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS

Mi, 26. Oktober 2016
16:00 Uhr - Session 7: MEMS-NEMS Charakterrisierung und Zuverlässigkeit
Experimentelle Analyse von thermischen Aktoren in BDRIE-Technologie.
S. Voigt, S. Schmidt, A. Shaporin, K. Hiller, J. Mehner
Professur Mikrosysteme und Medizintechnik, Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz

 

Poster

Evaluation of Different Technologies for the Fabrication of Air Coupled CMUT Devices.
K. Vogel, T. Müller, F. Roscher, M. Wiemer
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, TU Chemnitz