Die Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS zeigt ihre Entwicklungen in der Messtechnik und Sensorik vom 18. bis 20. Mai 2010 auf der SENSOR+TEST 2010 in Nürnberg. Auf dem Stand 102 in Halle 12 wird den Messebesuchern unter anderem die Funktionsweise des von der Fraunhofer ENAS entwickelten MEMS-Spektrometers und des MEMS-Parameter-Identifikationsverfahrens vorgestellt.

Der Schwerpunkt der diesjährigen Präsentation der Fraunhofer ENAS auf der Messtechnik-Messe liegt auf einem neuartigen MEMS-Parameter-Identifiaktionsverfahren mit dem man schnell, genau und berührungslos fehlerhafte Chips noch auf dem Wafer aufspüren kann. Mit einer Probe-Card, die per Laser auf wenige Mikrometer genau positioniert wird und durch ein elektrisches Feld die einzelnen Chips auf dem Wafer zum Schwingen anregt, wird die Messung berührungslos durchgeführt. In einer Software zur automatischen Parameterbestimmung werden die Messdaten mit vorhandenen Algorithmen verglichen und fehlerhafte Chips identifiziert. Fraunhofer ENAS entwickelte das Verfahren und die Probe-Card mit transparenten Elektroden gemeinsam mit dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz und Suss MicroTec Test Systems GmbH.

Als weiteres Highlight zeigt die Fraunhofer ENAS ihr gemeinsam mit TQ-Systems Chemnitz GmbH entwickeltes MEMS-Spektrometer. Ray Saupe von der Frauhofer ENAS, stellt die Entwicklung in einem Vortrag am Donnerstag, dem 20. Mai 2010, um 14:30 Uhr auf dem Forum in Halle 12 vor. Mit dem MEMS-Spektrometer können Flüssigkeiten per Messung im Infrarot-Bereich analysiert werden. Das Spektrometer ist klein, leicht und eignet sich für den Einsatz vor Ort in der Lebensmittelkontrolle, Überwachung von Benzin oder technischen Ölen, aber auch für die Kontrolle von Wasser.