Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Berührende Messung (links), berührungslose Messung (rechts).
Die kontinuierliche Messung von Flüssigkeitsständen unter verschiedenen Umgebungsbedingungen (beispielsweise bei hohen Temperaturen) wird in vielen verschiedenen Branchen benötigt. Das Fraunhofer ENAS hat einen CMUT-basierten miniaturisierten Sensor für den Füllstand entwickelt, mit dem auch kleinste Änderungen des Füllstands detektiert werden können. Der Sensor kann auch zur Ermittlung von Leckagen eingesetzt werden und liefert durch Miniaturisierung und hohe Genauigkeit insbesondere bei Flüssigkeitsbehältern mit einem geringen Volumen Vorteile., Dabei können die Sensoren berührungslos und in Kontakt messen, wobei die Messgenauigkeit durch den Kontakt mit dem Medium nicht beeinflusst wird.