Fraunhofer ENAS stellt auf der diesjährigen SEMICON Europa gemeinsam mit dem Fraunhofer IPMS und IZM sowie der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland seine Forschungsergebnisse aus der Mikro- und Nanoelektronik vor.

Wir stellen Nanofabrication in Chemnitz im Zusammenspiel von Simulation, KI, Technologie und Inline-Messtechnik vor. Außerdem zeigen wir Bond- und Drucktechnologien auf Substratgrößen von 100 bis 200 mm und auf Chiplevel sowie ein Ultraschallwandler-basiertes Messsystem.